特許

J-GLOBAL ID：200903038238327396

圧電素子並びに圧電素子を用いた液体噴射ヘッド及び液体噴射装置

発明者： 李 欣山 ,  亀井 宏行
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (2件)： 栗原 浩之 ,  村中 克年
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-340656
公開番号（公開出願番号）：特開2007-149858
出願日： 2005年11月25日
公開日（公表日）： 2007年06月14日
要約：

【課題】変位量を向上した圧電素子並びに圧電素子を用いた液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】基板の一方面側に設けられた下電極膜60と、下電極膜60上に設けられた圧電材料からなる圧電体層70と、圧電体層70上に設けられた上電極膜80とで形成し、この上電極膜80の硬度を14GPa以下とする。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

基板の一方面側に設けられた下電極膜と、該下電極膜上に設けられた圧電材料からなる圧電体層と、該圧電体層上に設けられた上電極膜とからなり、前記上電極膜の硬度が、14GPa以下であることを特徴とする圧電素子。

IPC (6件)：

H01L 41/22 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/045 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/18

FI (5件)：

H01L41/22 Z ,  B41J3/04 103A ,  H01L41/08 J ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101Z

Fターム (11件)：

2C057AF51 ,  2C057AG39 ,  2C057AG44 ,  2C057AG52 ,  2C057AG55 ,  2C057AP02 ,  2C057AP52 ,  2C057AP57 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-225335   出願人：セイコーエプソン株式会社

審査官引用 (3件)

• インクジェットヘッド及びそれを備えたインクジェット式記録装置、並びにインクジェットヘッドの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-111789   出願人：松下電器産業株式会社
• インクジェットヘッド及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-260085   出願人：松下電器産業株式会社
• 圧電素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-148221   出願人：株式会社豊田中央研究所