特許

J-GLOBAL ID：200903057725097848

インクジェットヘッド及びその製造方法

発明者： 神野 伊策 ,  ▲高▼山 良一 ,  渡邊 修
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 大前 要
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-260085
公開番号（公開出願番号）：特開2000-085124
出願日： 1998年09月14日
公開日（公表日）： 2000年03月28日
要約：

【要約】【課題】 インクジェットプリンタの圧力室を形成するアクチュエータ部の機械的強度、寿命の向上を図り、併せてそのための製造方法を提供する。【解決手段】1) 圧電素子の膜面に直行する断面を、圧力室方向へ適切な角度で拡がった台形とする。2) 圧力素子の周囲に、それよりヤング率の低い物質からなる保護膜を設ける。3) 圧電素子の断面の台形化(側壁面の傾斜化)にフッ酸と硝酸を含有した溶液での処理を行なう。4) 圧電素子の膜面に直行する断面を、圧力室方向へ適切な角度で拡がった台形とし、併せてその周囲にそれよりヤング率の低い物質からなる保護膜を設ける。

請求項（抜粋）：

圧力室側の電極と、その膜面に直交する方向の断面が、前記圧力室側の電極側に広がった台形である圧電素子と、反圧力室側の電極とを有していることを特徴とするインクジェットヘッド。

IPC (5件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22

FI (4件)：

B41J 3/04 103 A ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/18 101 D ,  H01L 41/22 Z

Fターム (14件)：

2C057AF23 ,  2C057AF65 ,  2C057AF91 ,  2C057AF93 ,  2C057AG38 ,  2C057AG44 ,  2C057AG90 ,  2C057AG92 ,  2C057AG93 ,  2C057AP02 ,  2C057AP52 ,  2C057AQ01 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭62-111758
  
• インクジェットヘッド及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-348549   出願人：富士通株式会社
• 圧電アクチュエータとその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-349029   出願人：京セラ株式会社
• インクジェットプリンタのヘッドに利用されるマイクロアクチュエ-タの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-369872   出願人：三星電機株式会社