特許
J-GLOBAL ID:200903045260815740
インクジェットヘッド及びそれを備えたインクジェット式記録装置、並びにインクジェットヘッドの製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (10件):
前田 弘
, 小山 廣毅
, 竹内 宏
, 嶋田 高久
, 竹内 祐二
, 今江 克実
, 藤田 篤史
, 二宮 克也
, 原田 智雄
, 井関 勝守
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-111789
公開番号(公開出願番号):特開2005-289017
出願日: 2004年04月06日
公開日(公表日): 2005年10月20日
要約:
【課題】能動部の変位量を向上させるとともに上部電極の配線部の抵抗を下げ得るインクジェットヘッドを提供する。【解決手段】インクジェットヘッド41は、圧力室8が形成された圧力室部材7と、下面の一部が圧力室8に臨むように設けられた振動層6と、圧力室8内のインクに圧力を付与する圧電素子14とを備えている。圧電素子14は、下部電極5と圧電体層4と結晶配向制御層3と上部電極13とが順に積層されてなる。上部電極13は、圧力室8に対応する位置に設けられた能動部13aと、能動部13aに接続された配線部13bとを有する。上部電極13は、結晶配向制御層3上に設けられた第1の電極層2と、第1の電極層2上に設けられ且つヤング率が第1の電極層2よりも小さい第2の電極層12との2層からなる。【選択図】図3
請求項(抜粋):
個別電極、圧電体層及び共通電極を有し且つ該個別電極、該圧電体層及び該共通電極が順に積層されてなる圧電素子と、該圧電素子の上記共通電極側の面に設けられた振動層と、該振動層の上記圧電素子とは反対側の面に接合され且つインクを収容する圧力室と該圧力室に連通するノズルとが形成された圧力室部材とを備え、上記個別電極が、上記圧力室に対応する位置に設けられた能動部と該能動部に接続された配線部とを有し、上記圧電体層の圧電効果により上記振動層を層厚方向に変位させて上記圧力室内のインクを上記ノズルから吐出させるインクジェットヘッドであって、
上記個別電極は、上記結晶配向制御層上に設けられた第1の電極層と該第1の電極層上に設けられ且つヤング率が上記第1の電極層よりも小さい第2の電極層とからなることを特徴とするインクジェットヘッド。
IPC (3件):
B41J2/045
, B41J2/055
, B41J2/16
FI (2件):
B41J3/04 103A
, B41J3/04 103H
Fターム (9件):
2C057AF03
, 2C057AF93
, 2C057AG42
, 2C057AG93
, 2C057AP02
, 2C057AP33
, 2C057AP52
, 2C057BA03
, 2C057BA14
引用特許:
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