マイクロポンプ、マイクロミキサー、マイクロ機械デバイス、マイクロ可動ミラーおよび光スイッチ

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：小川勝男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-167707
公開番号（公開出願番号）：特開2002-355798
出願日： 2001年06月04日
公開日（公表日）： 2002年12月10日
要約：

【要約】【課題】エポキシ系感光性樹脂を用いることで、積層することなく厚肉化を容易に実現して低コスト化をはかり、使い捨て可能なマイクロマシンおよびその製造方法を提供することにある。【解決手段】エポキシ系感光性樹脂そのものを構造材料としてマイクロ機械デバイスを構成することを特徴とする。半導体のフォトリソグラフィー技術により組立工程なしに樹脂の三次元構造体がバッチ処理で作成できるため、樹脂デバイスの微小化や複雑化が容易に行え、低コスト化がはかれる。また、処理回路と一体化ができるために浮遊容量の問題等を押さえることができ、高精度なセンサ等のデバイスを作り込むことが可能となる。

請求項（抜粋）：

基板上に複数の樹脂層を積層し、前記基板と最上の樹脂層との間の樹脂層に対して選択的に露光して除去することによって、圧力室並びに該圧力室の入口側および出口側につながるノズルを有する流路を形成し、前記圧力室の壁面を構成する部分をアクチュエータに接続されたダイアフラムとして構成することを特徴とするマイクロポンプ。

IPC (7件)：

B81B 3/00 , B81C 1/00 , F04B 9/00 , F04B 43/02 , F04B 43/04 , F04B 53/10 , G02B 26/08

FI (8件)：

B81B 3/00 , B81C 1/00 , F04B 9/00 B , F04B 43/02 B , F04B 43/02 F , F04B 43/04 B , G02B 26/08 E , F04B 21/02 G

Fターム (33件)：

2H041AA12 , 2H041AB14 , 2H041AC06 , 2H041AZ08 , 3H071AA01 , 3H071BB01 , 3H071CC31 , 3H071CC33 , 3H071CC37 , 3H071DD04 , 3H071DD32 , 3H071DD35 , 3H071DD82 , 3H071DD84 , 3H071DD89 , 3H075AA09 , 3H075BB04 , 3H075CC32 , 3H075CC34 , 3H075CC36 , 3H075DB02 , 3H075EE12 , 3H077AA08 , 3H077CC02 , 3H077CC09 , 3H077DD06 , 3H077EE34 , 3H077EE36 , 3H077FF12 , 3H077FF22 , 3H077FF36 , 3H077FF43 , 3H077FF55

引用特許：

審査官引用 (4件)

バルブ機構を有する微小ケミカルデバイス
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-246872 出願人：財団法人川村理化学研究所
流体圧力測定方法及び流体圧力測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-091979 出願人：富士電機株式会社
マイクロポンプとその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-324759 出願人：株式会社日立製作所

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