特許
J-GLOBAL ID：200903038280281282
ITO成膜装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
前田 純博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-121314
公開番号（公開出願番号）：特開平8-311645
出願日： 1995年05月19日
公開日（公表日）： 1996年11月26日
要約：
【要約】【目的】真空容器、真空容器中の長尺のフィルム、フィルムを連続的に搬送する搬送ドラム、真空容器中に設置されたITO成膜用のターゲット、および搬送ドラムとターゲットとの間に直流高電圧を印加してグロー放電を生じさせる直流高圧電源とを備えて、フィルム上に連続的にITO膜を成膜するITO成膜装置において、異常放電の発生を低減する。【構成】真空容器中での異常放電を検出する異常放電検出手段と、異常放電検出手段が異常放電を検出すると、検出後10μsec以内に直流高圧電源の高電圧出力を止める電源制御手段とを備える。あるいは搬送ドラムは電気的に接地され、かつターゲットに対しては-電位の高電圧と+電位の高電圧とが交互に繰り返しながら印加されるように、直流高圧電源がパルス波形の直流高電圧を出力する。
請求項（抜粋）：
真空容器、真空容器中の長尺のフィルム、フィルムを連続的に搬送する搬送ドラム、真空容器中に設置されたITO成膜用のターゲット、および搬送ドラムとターゲットとの間に直流高電圧を印加してグロー放電を生じさせる直流高圧電源とを備えて、フィルム上に連続的にITO膜を成膜するITO成膜装置において、真空容器中での異常放電を検出する異常放電検出手段と、異常放電検出手段が異常放電を検出すると、検出後10μsec以内に直流高圧電源の高電圧出力を止める電源制御手段とを備えたことを特徴とするITO成膜装置。
IPC (3件)：
C23C 14/38
, C23C 14/08
, C23C 14/54
C23C 14/38
, C23C 14/08 D
, C23C 14/54 Z
