サンプリング走査プローブ顕微鏡および走査方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：坂上正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-297363
公開番号（公開出願番号）：特開2004-132823
出願日： 2002年10月10日
公開日（公表日）： 2004年04月30日
要約：

【課題】探針と試料が衝突することによって探針や試料が損傷することを防止することができるサンプリング走査プローブ顕微鏡を実現する。【解決手段】探針5が試料2の表面に近接または接触した時点における該探針の振動振幅の減衰度合いを検出する振幅減衰検出部41と、該検出された減衰度合いが予め設定されている閾値に達すると、探針5と試料表面の接近を停止させ、この接近停止後に、xまたはy方向の次回の走査期間中に探針5と試料表面が接触することのない所定距離まで探針5を試料表面から離すようにz方向の移動を制御する制御部24とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

試料面に平行なx、y方向の走査と、該試料面に垂直なz方向の移動とを該試料面に対して相対的に行える探針を備えたサンプリング走査プローブ顕微鏡において、前記探針を、これに共振するあるいは強制振動する振動用周波数で振動させる手段と、前記探針が試料の表面に近接または接触した時点における観測データを採取する手段と、前記探針が前記試料表面に近接または接触した時点における該探針の振動振幅の減衰度合いを検出する手段と、前記z方向の移動を制御する制御手段とを具備し、前記制御手段は、前記検出された減衰度合いが予め設定されている閾値に達すると、前記探針と前記試料表面の接近を停止させ、この接近停止後に、前記xまたはy方向の次回の走査期間中に前記探針と前記試料表面が接触することのない所定距離まで前記探針を前記試料表面から離すことを特徴とするサンプリング走査プローブ顕微鏡。

IPC (2件)：

G01N13/10 , G01B21/30

FI (2件)：

G01N13/10 A , G01B21/30

Fターム (13件)：

2F069AA60 , 2F069DD01 , 2F069EE01 , 2F069EE22 , 2F069GG01 , 2F069GG04 , 2F069GG62 , 2F069HH04 , 2F069HH30 , 2F069JJ07 , 2F069LL03 , 2F069MM32 , 2F069MM40

引用特許：

審査官引用 (4件)

電気力プローブ顕微鏡走査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-029511 出願人：工業技術院長
走査型プローブ顕微鏡とその測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-226308 出願人：日立建機株式会社
特開平4-353702

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