特許
J-GLOBAL ID：200903034279055001
走査型プローブ顕微鏡及び試料の表面構造測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平木 祐輔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-028046
公開番号（公開出願番号）：特開2003-227788
出願日： 2002年02月05日
公開日（公表日）： 2003年08月15日
要約：
【要約】【課題】 ディジタルプロービング方式のAFM(原子間力顕微鏡)において、高アスペクト構造を高精度で測定する。【解決手段】 探針21を振動させながら試料表面に近づけ引力領域で所定の原子間力を検出した時の探針の位置を測定する(?@)。その後、探針を試料表面から離れる方向に移動させ(?A)、探針と試料表面との間隙を一定に保つサーボ系を停止させ、探針を試料から離した状態で試料表面に沿う向に測定点まで移動させる(?B)。振動の周波数を、例えばカンチレバーの共振点よりわずかに外れた周波数とし、カンチレバーの振動振幅の変化に基づいて原子間力を検出する。
請求項（抜粋）：
試料を載置する試料ステージと、探針と、前記探針を固定したカンチレバーと、前記探針を試料表面に沿う方向に2次元的に移動させる第1の探針移動手段と、前記探針を試料表面に対して近づく方向あるいは遠ざかる方向に移動させる第2の探針移動手段と、前記探針の位置を検出する探針位置検出手段と、前記カンチレバーをその共振点よりわずかに外れた所定の周波数で振動させる手段と、前記カンチレバーの前記所定の周波数成分の振動振幅を検出する振幅検出手段と、前記カンチレバーを試料表面に対して近づく方向に移動させながら前記カンチレバーの前記所定の周波数成分の振動振幅の変化を検出し、前記振動振幅の変化が所定量に達したときの前記探針の位置を計測する制御手段とを含むことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (3件)：
G01N 13/16
, G01B 21/30
, G01N 13/10
G01N 13/16 A
, G01N 13/16 C
, G01B 21/30
, G01N 13/10 C
2F069AA02
, 2F069AA06
, 2F069CC06
, 2F069DD08
, 2F069DD19
, 2F069GG06
, 2F069GG07
, 2F069GG18
, 2F069HH09
, 2F069HH30
, 2F069JJ07
