特許
J-GLOBAL ID：200903038553108929

感光性樹脂組成物

発明者：
大槻 信章

大槻 信章 について


出願人/特許権者：
株式会社日本触媒

株式会社日本触媒 について


代理人 (4件)： 植木 久一 ,  菅河 忠志 ,  二口 治 ,  伊藤 浩彰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-332101
公開番号（公開出願番号）：特開2007-139991
出願日： 2005年11月16日
公開日（公表日）： 2007年06月07日
要約：
【課題】露光時の感度とアルカリ現像性の両立はもとより、さらに、良好な耐熱性を維持しつつ、寸法安定性に優れ、脆さの発現しない硬化物を与え得る感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】N-置換マレイミド基、カルボキシル基およびエチレン性不飽和二重結合を有し、かつ、ポリマー100質量部あたりのエチレン性不飽和二重結合のモル数が0.05モル未満であるポリマー(A)を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物である。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
N-置換マレイミド基、カルボキシル基およびエチレン性不飽和二重結合を有し、かつ、ポリマー100質量部あたりのエチレン性不飽和二重結合のモル数が0.05モル未満であるポリマー(A)を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/038 ,  G03F 7/004 ,  H01L 21/027 ,  C08F 299/00 ,  G03F 7/027
FI (5件)：
G03F7/038 501 ,  G03F7/004 501 ,  H01L21/30 502R ,  C08F299/00 ,  G03F7/027 502
Fターム (86件)：
2H025AB01 ,  2H025AB15 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025BC52 ,  2H025BC74 ,  2H025CA01 ,  2H025CC17 ,  2H025CC20 ,  4J127AA03 ,  4J127BA01 ,  4J127BA051 ,  4J127BA061 ,  4J127BA062 ,  4J127BB041 ,  4J127BB042 ,  4J127BB081 ,  4J127BB132 ,  4J127BB221 ,  4J127BB222 ,  4J127BB281 ,  4J127BB282 ,  4J127BB301 ,  4J127BB302 ,  4J127BC031 ,  4J127BC032 ,  4J127BC142 ,  4J127BC151 ,  4J127BD021 ,  4J127BD041 ,  4J127BD061 ,  4J127BD202 ,  4J127BE05X ,  4J127BE05Y ,  4J127BE051 ,  4J127BE24X ,  4J127BE24Y ,  4J127BE241 ,  4J127BE29Z ,  4J127BE291 ,  4J127BE31Y ,  4J127BE31Z ,  4J127BE311 ,  4J127BE33X ,  4J127BE331 ,  4J127BE34Y ,  4J127BE342 ,  4J127BE41Y ,  4J127BE41Z ,  4J127BE411 ,  4J127BE412 ,  4J127BE46X ,  4J127BE46Y ,  4J127BE461 ,  4J127BF31X ,  4J127BF31Y ,  4J127BF312 ,  4J127BG04X ,  4J127BG04Y ,  4J127BG041 ,  4J127BG05X ,  4J127BG05Y ,  4J127BG051 ,  4J127BG052 ,  4J127BG10Y ,  4J127BG10Z ,  4J127BG101 ,  4J127BG16Y ,  4J127BG16Z ,  4J127BG161 ,  4J127BG162 ,  4J127BG17Y ,  4J127BG17Z ,  4J127BG171 ,  4J127BG172 ,  4J127BG31X ,  4J127BG311 ,  4J127CA01 ,  4J127FA16 ,  4J127FA17 ,  4J127FA18 ,  4J127FA19 ,  4J127FA38
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (6件)
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