特許

J-GLOBAL ID：200903038611224853

耐プラズマ性石英ガラス治具

発明者： 稲木 恭一
出願人/特許権者： 信越石英株式会社
代理人 (1件)： 服部 平八
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-259645
公開番号（公開出願番号）：特開2002-068766
出願日： 2000年08月29日
公開日（公表日）： 2002年03月08日
要約：

【要約】【目的】プラズマが発生する装置で使用しても異常なエッチングやパーティクルの発生が少ない耐プラズマ特性の優れた石英ガラス治具を提供することを目的とする。【解決手段】プラズマが発生する装置に使用される石英ガラス治具であって、その石英ガラス表面の表面粗さRaが5μm〜0.05μm、表面のマイクロクラックの個数が500個/cm2以下、石英ガラス中の水素分子濃度が5×1016分子/cm3以上であることを特徴とする耐プラズマ性石英ガラス治具。

請求項（抜粋）：

プラズマが発生する装置に使用する石英ガラス治具であって、その石英ガラス表面の表面粗さRaが5μm〜0.05μm、表面のマイクロクラックの個数が500個/cm2以下、石英ガラスの水素分子濃度が5×1016分子/cm3以上であることを特徴とする耐プラズマ性石英ガラス治具。

IPC (3件)：

C03B 20/00 ,  C03C 15/00 ,  H01L 21/3065

FI (4件)：

C03B 20/00 F ,  C03B 20/00 G ,  C03C 15/00 E ,  H01L 21/302 B

Fターム (13件)：

4G014AH21 ,  4G014AH23 ,  4G059AA20 ,  4G059AC30 ,  4G059BB04 ,  4G059BB16 ,  5F004AA16 ,  5F004BA20 ,  5F004BB29 ,  5F004DA00 ,  5F004DA01 ,  5F004DA26 ,  5F004DB01

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 不透明な石英ガラス及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-052520   出願人：信越石英株式会社
• 半導体熱処理装置用石英ガラス治具
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-314577   出願人：信越石英株式会社
• 遠紫外線用高純度シリカガラス及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-078141   出願人：信越石英株式会社
• 高出力真空紫外線用合成シリカガラス光学材料およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-145938   出願人：信越石英株式会社