慣性センサ及びそれを用いた複合センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：岩橋文雄 , 坂口智康 , 内藤浩樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-345400
公開番号（公開出願番号）：特開2005-114394
出願日： 2003年10月03日
公開日（公表日）： 2005年04月28日
要約：

【課題】センサ自体に異常がないかどうかを能動的に診断することができる慣性センサ及びそれを用いた複合センサを実現するものである。【解決手段】交流バイアス信号電圧を同期復調器24よりも前に加えることにより、検知素子6または検出回路27の少なくともいずれか1つの異常を検出するための診断信号を供給する自己診断回路41を備えるため、慣性センサのセンサ出力端子26から予め決められたDCオフセット信号が得られるかどうかを監視するだけで、センサ自体に異常がないかどうかを能動的に診断することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

第1及び第2のコンデンサ部を有し、前記第1のコンデンサ部が固定部に設けられた第1の検出電極と可動部に設けられた可動電極よりなり、前記第2のコンデンサ部が前記固定部に設けられた第2の検出電極と前記可動部に設けられた可動電極よりなるように構成された検知素子と、前記検知素子の可動電極に交流バイアス信号電圧を印加するためのドライブ回路と、前記検知素子に印加された加速度に応じて前記可動電極が変位し、前記第1の検出電極に発生する電荷量が増加する場合は前記第2の検出電極に発生する電荷量が減少し、逆に前記第1の検出電極に発生する電荷量が減少する場合は前記第2の検出電極に発生する電荷量が増加するように構成された前記第1、第2の検出電極の電荷量の差を検出するための差動型検出器と前記交流バイアス信号電圧に同期し前記差動型検出器の出力信号を同期復調するための同期復調器と前記同期復調器からの出力信号を調整する出力増幅器とを有する検出回路と、前記交流バイアス信号電圧を前記同期復調器よりも前に加えることにより、前記検知素子または前記検出回路の少なくともいずれか1つの異常を検出するための診断信号を供給する自己診断回路とを備えた慣性センサ。

IPC (4件)：

G01C19/56 , G01P9/04 , G01P15/125 , G01P21/00

FI (4件)：

G01C19/56 , G01P9/04 , G01P15/125 V , G01P21/00

Fターム (6件)：

2F105AA02 , 2F105BB04 , 2F105CC04 , 2F105CD03 , 2F105CD05 , 2F105CD11

引用特許：

出願人引用 (2件)

特表平4-504003号公報
1軸角速度/加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-271797 出願人：日本航空電子工業株式会社

審査官引用 (6件)

慣性力センサおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-160171 出願人：三菱電機株式会社
角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-044394 出願人：松下電器産業株式会社
角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-066341 出願人：松下電器産業株式会社

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