特許
J-GLOBAL ID：200903038753106866

ラビング装置並びに液晶装置用基板のラビング方法及びこれにより製造された液晶装置用基板、液晶装置

発明者：
山田 健一

山田 健一 について

, 
矢崎 正幸

矢崎 正幸 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-338160
公開番号（公開出願番号）：特開2001-154199
出願日： 1999年11月29日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：
【要約】【課題】 表示特性の優れた液晶装置を製造するラビング方法及びラビング装置を提供する。【解決手段】 配向膜が形成された基板をステージに吸着固定することにより基板の反りを解消し、反りのない状態の基板の厚みを測定し、この測定結果を基に設定されたラビング条件下でラビング処理する。これにより、所望のラビング圧のラビング処理を施すことができ、表示品位の高い液晶装置が得られる。
請求項（抜粋）：
一方の面に配向膜が形成された基板が、配向膜を上にして吸着固定される載置台と、前記基板に接し、前記基板の一端部から他端部に向かって相対的に移動することにより前記配向膜をラビング処理するラビングローラーと、前記吸着固定された前記基板の厚みを測定する基板厚測定機構と、前記基板厚測定機構による測定結果に基づいて、前記ラビングローラーまたは前記載置台を移動させる移動機構と、を具備することを特徴とするラビング装置。
IPC (2件)：
G02F 1/1337 500 ,  G02F 1/1333 500
FI (2件)：
G02F 1/1337 500 ,  G02F 1/1333 500
Fターム (4件)：
2H090JC18 ,  2H090LA04 ,  2H090MB02 ,  2H090MB05
引用特許：
審査官引用 (3件)

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