特許
J-GLOBAL ID：200903038770291111
マイクロ波を利用したプラズマ発生装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小池 寛治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-300450
公開番号（公開出願番号）：特開平9-120900
出願日： 1995年10月26日
公開日（公表日）： 1997年05月06日
要約：
【要約】【課題】 小形の装置でプラズマを発生させ、特に、ダイヤモンドの生成装置として有効に利用することのできるプラズマ発生装置を提供すること。【解決手段】 円筒状の外部導体21aとこの外部導体21a内を通る内部導体21bから形成したマイクロ波の同軸線路21と、この同軸線路21と内部を連通するように接続した真空室22と、同軸線路21と真空室22の各々の内部を仕切る石英ガラス等で形成した仕切部材23とを備え、内部導体21bの先端部21cを仕切部材23を通してマイクロ波の波長λに対し(λ/4)または(λ/4)+n・(λ/2)の長さだけ真空室22内に導入して構成してある。
請求項（抜粋）：
円筒状の外部導体とこの外部導体内を通る内部導体から形成したマイクロ波の同軸線路と、この同軸線路と内部を連通するように接続した真空室と、誘電体材料で形成し上記同軸線路と真空室の各々の内部を仕切る仕切部材とを備え、上記内部導体の先端部を上記仕切部材を通してマイクロ波の波長λに対し(λ/4)または(λ/4)+n・(λ/2)の長さだけ真空室内に導入して構成したことを特徴とするマイクロ波を利用したプラズマ発生装置。
引用特許：
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