特許

J-GLOBAL ID：200903038786288110

着色被膜の形成方法

発明者： 長野 勝一 ,  安部 考彦
出願人/特許権者： 凸版印刷株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-350926
公開番号（公開出願番号）：特開2000-167476
出願日： 1998年12月10日
公開日（公表日）： 2000年06月20日
要約：

【要約】【課題】基板11上に着色塗布膜をスリットコータで形成し、スピンコータで平滑化・乾燥させ着色被膜を形成する際に、スジムラや段ムラを原因としたムラは観視されず、表面平滑性の優れた、良好な表示装置用カラーフィルタを製造する着色被膜の形成方法を提供すること。【解決手段】基板11上に着色塗布液23をスリットコータで塗布して塗布膜を形成し、塗布膜をスピンコータで平滑化・乾燥させて着色被膜を形成する際に、粘度5〜20cpsの着色塗布液を、溶剤乾燥前で20〜50μm厚にスリットコータで塗布して塗布膜を形成し、溶剤乾燥後の膜厚が1〜2μmになるまで被塗布基板を水平状態にてスピンコータで回転させ続けて着色被膜を形成すること。

請求項（抜粋）：

基板上に着色塗布液をスリットコータで塗布して塗布膜を形成し、形成した塗布膜をスピンコータで平滑化・乾燥させる基板上への着色被膜の形成方法において、粘度5〜20cpsの着色塗布液を、溶剤乾燥前で20〜50μm厚に水平状態の基板上にスリットコータで塗布して塗布膜を形成し、溶剤乾燥後の膜厚が1〜2μmになるまで被塗布基板を水平状態にてスピンコータで回転させ続けて該塗布膜を平滑化・乾燥させ、着色被膜を形成することを特徴とする着色被膜の形成方法。

IPC (4件)：

B05D 1/40 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/16 501 ,  G03F 7/38 501

FI (4件)：

B05D 1/40 A ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/16 501 ,  G03F 7/38 501

Fターム (19件)：

2H025AA00 ,  2H025AB13 ,  2H025AB17 ,  2H025EA04 ,  2H048AA09 ,  2H048BA43 ,  2H048BA48 ,  2H096AA00 ,  2H096AA28 ,  2H096BA20 ,  2H096CA13 ,  2H096CA20 ,  4D075AC04 ,  4D075AC64 ,  4D075AC92 ,  4D075BB24Z ,  4D075DA06 ,  4D075DB13 ,  4D075DC21

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 塗布方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-038350   出願人：東京応化工業株式会社
• 塗布装置および塗布方法並びにカラーフィルタの製造装置および製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-014538   出願人：東レ株式会社
• 枚葉塗工体の製造方法およびその製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-140923   出願人：東レ株式会社