特許
J-GLOBAL ID:200903038797444297

多元系フッ化物単結晶およびその作製方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 後藤 洋介 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-317193
公開番号(公開出願番号):特開2003-119096
出願日: 2001年10月15日
公開日(公表日): 2003年04月23日
要約:
【要約】【課題】 熱歪みあるいはクラック等のない多元系フッ化物単結晶を作製する作成方法を提供すること。【解決手段】 下部るつぼ部品5とこの上に重ねた上部るつぼ部品1とを有するるつぼを使用する。上部るつぼ部品の底には少なくとも1個の小径の穴3を明ける。るつぼ内に投入する原料の量を、原料を溶融させた時の融液が上部るつぼ部品に10〜50%入る程度に規制しつつ、ブリッジマン育成を行なう。こうして、発生する白濁物質2を上部るつぼ部品に集める。
請求項(抜粋):
下部るつぼ部品とこの上に重ねた上部るつぼ部品とを有しかつ前記上部るつぼ部品の底に少なくとも1個の小径の穴を明けてなるるつぼを用意し、前記るつぼ内に投入する原料の量を、原料を溶融させた時の融液が前記上部るつぼ部品に10〜50%入る程度に規制しつつ、ブリッジマン育成を行なうことで、発生する白濁物質を前記上部るつぼ部品に集め、これにより熱膨張率差に起因する状態を低減した多元系フッ化物単結晶を得ることを特徴とする多元系フッ化物単結晶作製方法。
IPC (2件):
C30B 29/12 ,  C30B 11/00
FI (2件):
C30B 29/12 ,  C30B 11/00 C
Fターム (7件):
4G077AA02 ,  4G077BE02 ,  4G077CD02 ,  4G077EC05 ,  4G077EG01 ,  4G077HA01 ,  4G077MB04
引用特許:
審査官引用 (5件)
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