その表面の少なくとも一部に酸化物とフッ化物との混合皮膜が形成された金属材料の製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：尾関弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-209037
公開番号（公開出願番号）：特開2004-052024
出願日： 2002年07月18日
公開日（公表日）： 2004年02月19日
要約：

【課題】耐食性と高絶縁性を併せ持つ金属酸化フッ化皮膜を製造する方法を提供すること。【解決手段】金属材料を、その金属材料のフッ化物を揮散させながら酸化ガス、フッ化ガスの共存雰囲気下で加熱処理すること【選択図】なし

請求項（抜粋）：

金属材料を、該金属材料とフッ化ガスとの反応により生成する金属フッ化物を揮散させながら、フッ化ガス及び酸化ガスと接触させることを特徴とする、その表面の少なくとも一部に酸化物とフッ化物との混合被膜が形成された金属材料の製造方法。

IPC (1件)：

C23C8/28

FI (1件)：

C23C8/28

引用特許：

出願人引用 (3件)

審査官引用 (8件)

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引用文献：

審査官引用 (2件)

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