エネルギービーム源

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：渡邉勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-196093
公開番号（公開出願番号）：特開平8-286000
出願日： 1995年07月07日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：

【要約】【課題】単一もしくは複数のエネルギービーム源から多様なエネルギー状態もしくは種類のビームを形成して、多様な加工を行うことのできるエネルギービーム源及びそのビーム源を用いた微細加工装置を提供する。【解決手段】エネルギービーム源10であって、放電管11と、該管内にガスを供給するガス供給ノズル13と、一つ以上のビーム放射孔の開いたビーム放射ノズル12と、前記放電管11に配置された3つ以上の電極15,16,17とにより構成され、該電極に印加する電圧種類が、高周波電圧・直流電圧・アースのいずれかの組み合わせであり、該電極に印加する電圧種類の組み合わせ及びガス種を変化することで、正イオン、負イオン、高速中性粒子、ラジカル粒子、電子等の異なったエネルギー状態もしくは種類の粒子ビームを供給する。

請求項（抜粋）：

エネルギービーム源であって、放電管と、該管内にガスを供給するガス供給ノズルと、一つ以上のビーム放射孔の開いたビーム放射ノズルと、前記放電管に配置された3つ以上の電極とにより構成され、該電極に印加する電圧種類が、高周波電圧・直流電圧・アースのいずれかの組み合わせであり、該電極に印加する電圧種類の組み合わせ及びガス種を変化することで、正イオン、負イオン、高速中性粒子、ラジカル粒子、電子等の異なったエネルギー状態もしくは種類の粒子ビームを供給することを特徴とするエネルギービーム源。

IPC (2件)：

G21K 5/04 , G21K 5/00

FI (2件)：

G21K 5/04 W , G21K 5/00 M

引用特許：

審査官引用 (7件)

高速原子線源
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-018575 出願人：株式会社荏原製作所
特開平3-030297
高速原子線源
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-261231 出願人：株式会社荏原製作所

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