特許
J-GLOBAL ID:200903038895244190

金属粒子の硬さ測定方法、接合性評価方法、硬さ測定装置および接合性評価装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 山田 文雄 ,  山田 洋資
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-351867
公開番号(公開出願番号):特開2008-164345
出願日: 2006年12月27日
公開日(公表日): 2008年07月17日
要約:
【課題】所定条件下で数十μm以下の金属ボールや粒子やバンプそのものの降伏応力σyを直接的な圧縮試験によって測定し、この求めた降伏応力σyを硬さの指標とする硬さ測定方法を提供する。【解決手段】a)圧縮荷重Fを増加した時の金属粒子38の高さhの変化を測定する、b)金属粒子38と加圧部材18,20表面との間の摩擦係数をμとし、f(μ、h)を金属粒子38の幾何学的変形の程度を示す関数とし、摩擦係数μの所定条件下で次式、F=f(μ、h)・σyから定数σyを求める、求めた定数σyを所定条件下における降伏応力として前記金属粒子の硬さの指標とする。【選択図】図10
請求項(抜粋):
金属粒子を加圧部材間に挟み1軸上の対向する方向から圧縮して塑性変形させ、圧縮荷重と金属粒子の変形量から前記金属粒子の硬さを測定する方法において、 a)圧縮荷重Fを増加した時の前記金属粒子の高さhの変化を測定する、 b)前記金属粒子と前記加圧部材表面との間の摩擦係数をμとし、f(μ、h)を金属粒子の幾何学的変形の程度を示す関数とし、前記摩擦係数μの所定条件下で次式、 F=f(μ、h)・σy から定数σyを求める、 以上の工程a)〜b)により求めた定数σyを所定条件下における降伏応力として前記金属粒子の硬さの指標とすることを特徴とする金属粒子の硬さ測定方法。
IPC (2件):
G01N 3/40 ,  G01N 3/08
FI (2件):
G01N3/40 Z ,  G01N3/08
Fターム (15件):
2G061AA02 ,  2G061AB01 ,  2G061AC03 ,  2G061BA02 ,  2G061BA20 ,  2G061CA01 ,  2G061CA18 ,  2G061CB02 ,  2G061CB10 ,  2G061DA12 ,  2G061EA02 ,  2G061EA03 ,  2G061EB05 ,  2G061EB06 ,  2G061EC02
引用特許:
審査官引用 (4件)
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