微粒子強度測定方法及び装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-349978
公開番号（公開出願番号）：特開2006-162279
出願日： 2004年12月02日
公開日（公表日）： 2006年06月22日
要約：

【課題】微粒子サイズと同程度の大きさの平坦部(1μm以下)をもったダイヤモンド圧子を採用するとともにダイヤモンド基板を装着したステージを1μm以下の制御が可能であるクローズドループ制御により制御し、さらに、微粒子の粒径を原子間力顕微鏡で測定するようにしたことにより、1μm以下の大きさの微粒子の強度を正確に測定可能とする。【解決手段】ダイヤモンド基板上に微粒子を分散させ、測定しようとする微粒子を一つ選び原子間力顕微鏡を用いて微粒子の粒径を測定し、次いで、ダイヤモンド基板をクローズドループ制御のステージにより測定しようとする微粒子がダイヤモンド圧子の真下に位置するように移動させ、その後、微粒子のサイズと同程度の大きさの平坦部を形成したダイヤモンド圧子を変位させ微粒子に負荷をかけることにより微粒子の強度を測定するようにしたことを特徴としている。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

ダイヤモンド基板上に微粒子を分散させ、測定しようとする微粒子を一つ選び原子間力顕微鏡を用いて微粒子の粒径を測定し、次いで、ダイヤモンド基板をクローズドループ制御のステージにより測定しようとする微粒子がダイヤモンド圧子の真下に位置するように移動させ、その後、微粒子のサイズと同程度の大きさの平坦部を形成したダイヤモンド圧子を変位させ微粒子に負荷をかけることにより微粒子の強度を測定するようにしたことを特徴とする微粒子強度測定方法。

IPC (6件)：

G01N 3/00 , G01B 21/10 , G01N 3/08 , G01N 3/42 , G01N 13/10 , G01N 15/02

FI (6件)：

G01N3/00 L , G01B21/10 , G01N3/08 , G01N3/42 Z , G01N13/10 F , G01N15/02 B

Fターム (19件)：

2F069AA39 , 2F069AA42 , 2F069FF07 , 2F069GG04 , 2F069GG07 , 2F069GG20 , 2F069HH30 , 2F069MM23 , 2G061AA02 , 2G061AB01 , 2G061BA04 , 2G061BA06 , 2G061CA05 , 2G061CA18 , 2G061CC20 , 2G061DA10 , 2G061EA01 , 2G061EA02 , 2G061EB03

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平3-226646号公報
特開平4-89549 号公報
研磨用粒子、該研磨用粒子の製造方法および研磨材
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-374410 出願人：触媒化成工業株式会社

審査官引用 (9件)

特開平3-226646
硬さ試験機
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-191823 出願人：株式会社アカシ
走査型プロ-ブ顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-014003 出願人：株式会社島津製作所

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