特許
J-GLOBAL ID：200903038954768379

ウエハ固定装置

発明者：
松林 克征

松林 克征 について

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山口 彰

山口 彰 について

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間山 和浩

間山 和浩 について


出願人/特許権者：
日清紡績株式会社

日清紡績株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人はるか国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-203450
公開番号（公開出願番号）：特開2008-034465
出願日： 2006年07月26日
公開日（公表日）： 2008年02月14日
要約：
【課題】ウエハをステージに確実に安定して固定できるようにしたウエハ固定装置を提供する。【解決手段】ウエハ固定ねじ20の頭部20BをウエハWに当接させる。そして、ウエハ固定ねじ20のねじ部20Aにウエハ固定ナット30を締結する。これにより、ウエハ固定ねじ20とウエハ固定ナット30とによる締結力を頭部20BとウエハWとの間に直接伝え、ウエハWをウエハ固定ねじ20の頭部20Bとステージ10のウエハ収容凹部12の溝底との間で挟持した状態でウエハWを確実に固定する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ウエハが載置されるウエハ載置部を有するステージと、 前記ウエハを挟んで前記ウエハ載置部とは反対側から前記ウエハに当接する当接部を有する締結部と、 該締結部に締結する被締結部と、 を備え、 前記締結部と前記被締結部とによる締結力により前記当接部と前記ステージのウエハ載置部との間で前記ウエハを挟持した状態で固定することを特徴とするウエハ固定装置。
IPC (1件)：
H01L 21/683
FI (1件)：
H01L21/68 N
Fターム (11件)：
5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA24 ,  5F031HA28 ,  5F031HA29 ,  5F031HA42 ,  5F031KA03 ,  5F031KA15 ,  5F031MA28 ,  5F031MA32 ,  5F031PA11
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (4件)
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