特許
J-GLOBAL ID：200903049721629966

ウエーハ用メッキ装置

発明者：
石田 博文

石田 博文 について


出願人/特許権者：
日本エレクトロプレイテイング・エンジニヤース株式会社

日本エレクトロプレイテイング・エンジニヤース株式会社 について


代理人 (1件)： 高月 猛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-029146
公開番号（公開出願番号）：特開平7-221109
出願日： 1994年02月02日
公開日（公表日）： 1995年08月18日
要約：
【要約】【目的】予めレジスト膜を剥離させておく必要もなく、しかも複数の電極針をそれぞれ安定的且つ確実にウエーハに対し導通接触させることができ、しかも電極針へのメッキ金属の付着も有効に防止し得るようなウエーハ用メッキ装置の提供。【構成】メッキ槽1の開口部周縁に設けた載置面12にウエーハの周縁部を押え手段7にて押接させ、この状態でメッキ槽内のメッキ液にウエーハを接触させてメッキするようにしたメッキ装置について、ウエーハへの通電用電極針17をその先端部が載置面から若干突出し且つ載置面の下方へ先端部が弾性的に変形しつつ引っ込むことが可能な状態で設け、押え手段にて載置面に押し付けられるウエーハにより電極針を押して弾性変形させつつ、その際の押接力で電極針の押接部位についてウエーハのレジスト膜を剥離させて電極針とウエーハの導通をなさせるようにしている。
請求項（抜粋）：
メッキ槽の開口部周縁に設けた載置面にウエーハの周縁部を押え手段にて押接させ、この状態でメッキ槽内のメッキ液にウエーハを接触させてメッキするようにしたウエーハ用メッキ装置において、ウエーハに対する通電用の電極針をその先端部が載置面から若干突出し且つ載置面の下方へ弾性的に変形しつつ引っ込むことが可能な状態で設け、押え手段にて載置面に押し付けられるウエーハにより電極針を押して弾性変形させつつ、その際の押接力で電極針の押接部位についてウエーハのレジスト膜を剥離させて電極針とウエーハの導通をなさせるようにしたことを特徴とするウエーハ用メッキ装置。
IPC (3件)：
H01L 21/321 ,  C25D 7/12 ,  H01L 21/288
引用特許：
審査官引用 (8件)
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