特許

J-GLOBAL ID：200903039089357291

マイクロミラーおよびその製造方法

発明者： 原 昌輝 ,  牧野 拓也 ,  堀 和仁 ,  羽根 一博 ,  佐々木 実
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 藤島 洋一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-035909
公開番号（公開出願番号）：特開2002-244053
出願日： 2001年02月13日
公開日（公表日）： 2002年08月28日
要約：

【要約】【課題】 簡単な工程により作製でき、広角度に変位可能なマイクロミラーおよびその製造方法を提供する。【構成】 シリコン(100)基板11を異方性エッチングすることにより形成された(111)面をミラー部12および連結部14として用いる。連結部14には駆動コイル14Aを設ける。シリコン基板11の下に永久磁石20を設置し、永久磁石20の磁界中で駆動コイル14Aに電流を流すことによりローレンツ力が発生し、ヒンジ部15をシリコン基板11の(100)面に略平行な方向に往復運動させる。このヒンジ部15の駆動に伴いミラー部12が広角度に変位する。

請求項（抜粋）：

変位可能な反射膜により入射光を偏向させるためのマイクロミラーであって、平坦面を有する固定部分および前記固定部分の平坦面に対して傾斜して設けられた可動部分を含むヒンジ部と、このヒンジ部の可動部分に連続して設けられた連結部と、この連結部に連続して設けられ、前記ヒンジ部の可動部分の変位に伴って前記入射光に対する相対的な角度が可変なミラー部と、前記ミラー部を前記ヒンジ部を中心にして駆動させる駆動手段とを備えたことを特徴とするマイクロミラー。

IPC (3件)：

G02B 26/08 ,  B81B 3/00 ,  B81C 1/00

FI (3件)：

G02B 26/08 E ,  B81B 3/00 ,  B81C 1/00

Fターム (5件)：

2H041AA12 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ01 ,  2H041AZ08

引用特許：

審査官引用 (2件)

• マイクロシャッタアレイ及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-032275   出願人：株式会社ニコン
• 光偏向器およびそれを用いた表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-227205   出願人：キヤノン株式会社