特許
J-GLOBAL ID：200903039112837107

硬質皮膜及び硬質皮膜被覆工具

発明者：
石川 剛史

石川 剛史 について


出願人/特許権者：
日立ツール株式会社

日立ツール株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-007104
公開番号（公開出願番号）：特開2004-238736
出願日： 2004年01月14日
公開日（公表日）： 2004年08月26日
要約：
【課題】 密着性、硬度、耐高温酸化特性及び耐摩耗性に優れた硬質皮膜及びかかる硬質皮膜で被覆された工具を提供する。【解決手段】 アーク放電式イオンプレーティング法により形成した硬質皮膜であって、AlxCr1-x又はAlxCr1-x-ySiyにより表される金属成分と、N1-α-β-γBαCβOγにより表される非金属成分とからなる組成を有し、(200)面又は(111)面に最大X線回折強度を有し、X線光電子分光分析における525〜535eVの範囲にAl及び/又はCrと酸素との結合エネルギーを有し、又はX線光電子分光分析における525〜535eVの範囲にAl、Cr及び/又はSiと酸素との結合エネルギーを有し、又は岩塩型の結晶構造を有し(111)面又は(200)面のX線回折ピークの2θの半価幅が0.5〜2度であり、酸素は前記硬質皮膜の結晶粒内より結晶粒界に多く存在することを特徴とする硬質皮膜。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
アーク放電式イオンプレーティング法により形成した硬質皮膜であって、AlxCr1-x(但し、xは原子比率で0.45≦x≦0.75を満たす。)により表される金属成分と、N1-α-β-γBαCβOγ(但し、α、β及びγはそれぞれ原子比率で、0≦α≦0.15、0≦β≦0.35、及び0.01≦γ≦0.25を満たす。)により表される非金属成分とからなる組成を有し、(200)面又は(111)面に最大X線回折強度を有し、X線光電子分光分析における525〜535eVの範囲にAl及び/又はCrと酸素との結合エネルギーを有することを特徴とする硬質皮膜。
IPC (3件)：
C23C14/06 ,  B23B27/14 ,  C23C14/32
FI (3件)：
C23C14/06 L ,  B23B27/14 A ,  C23C14/32 Z
Fターム (15件)：
3C046FF11 ,  3C046FF13 ,  3C046FF21 ,  4K029AA02 ,  4K029AA04 ,  4K029BA41 ,  4K029BA43 ,  4K029BA58 ,  4K029BA64 ,  4K029BB02 ,  4K029BC02 ,  4K029BD05 ,  4K029CA03 ,  4K029DD06 ,  4K029EA01
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • 特許第3027502号公報
  • 特許第3039381号公報
  • 工具の表面処理方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-357450   出願人：トーヨーエイテック株式会社, 和興産業株式会社
審査官引用 (8件)
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