特許

J-GLOBAL ID：200903039127417376

ルテニウム酸塩電極を有するコンデンサ

発明者： パプ・ディ-・マニア
出願人/特許権者： モトローラ・インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 本城 雅則 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-119265
公開番号（公開出願番号）：特開平6-021341
出願日： 1993年04月23日
公開日（公表日）： 1994年01月28日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 酸化物のない電極表面を維持するために、複雑な処理装置あるいは余分な処理段階を必要としないコンデンサを提供すること。【構成】 コンデンサ11が誘電層34上に形成される。導電層36が誘電層34上に形成される。任意のバリア層16が形成されて、電気的接続を行い、導電層36をルテニウム酸塩部分を有する第1電極領域20から分離する。誘電層22が第1ルテニウム酸塩電極領域20上に形成され、コンデンサ誘電体を形成する。第2電極領域24が、誘電層22上に形成される。任意のバリア層28が電極領域24上に形成される。導電層32が任意のバリア層28上に形成され、電極領域24に対して電気的接触を行う。誘電層30が形成されて、コンデンサ11を電気的に分離する。

請求項（抜粋）：

コンデンサ(10)であって:ルテニウム酸塩材料で形成された第1部分(20または18)を有する第1電極(20,18);第2電極(26);および前記第1電極と前記第2電極との間に形成された誘電材料(22);によって構成されることを特徴とするコンデンサ(10)。

IPC (3件)：

H01L 27/04 ,  H01L 21/28 301 ,  H01L 21/28

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 半導体装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-032072   出願人：三菱電機株式会社
• キャパシタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-036026   出願人：シャープ株式会社
• 強誘電性素子のための多層電極
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-086509   出願人：シャープ株式会社