特許
J-GLOBAL ID:200903039184303441
X線源及びその陽極
発明者:
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出願人/特許権者:
,
代理人 (6件):
鈴江 武彦
, 河野 哲
, 中村 誠
, 蔵田 昌俊
, 村松 貞男
, 橋本 良郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-147850
公開番号(公開出願番号):特開2005-332623
出願日: 2004年05月18日
公開日(公表日): 2005年12月02日
要約:
【課題】本発明の目的は、電子ビームのスポットサイズより微小にX線焦点を絞ることの可能なX線源及びその陽極を提供することにある。【解決手段】X線源の陽極8は、基体1上に第1の金属層2と絶縁層3と第2の金属層4が順に形成され、第1の金属層2は第2の金属層4を構成する元素の原子番号より大きい原子番号の元素を有し、絶縁層3及び第2の金属層4には第1の金属層2を部分的に露出するための孔6が開けられている。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
基体上に第1の金属層と絶縁層と第2の金属層が順に形成され、前記第1の金属層は前記第2の金属層を構成する元素の原子番号より大きい原子番号の元素を有し、前記絶縁層及び前記第2の金属層には前記第1の金属層を部分的に露出するための孔が開けられていることを特徴とするX線源の陽極。
IPC (3件):
H01J35/08
, H01J35/14
, H05G1/00
FI (5件):
H01J35/08 F
, H01J35/08 B
, H01J35/08 C
, H01J35/14
, H05G1/00 E
Fターム (14件):
4C092AA01
, 4C092AB30
, 4C092AC01
, 4C092AC08
, 4C092AC17
, 4C092BD05
, 4C092BD11
, 4C092CC03
, 4C092CE07
, 4C092CF02
, 4C092CF42
, 4C092CJ11
, 4C092CJ13
, 4C092DD20
引用特許:
出願人引用 (2件)
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マイクロフォーカスX線発生装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-136808
出願人:株式会社島津製作所
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X線検査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-192458
出願人:株式会社島津製作所
審査官引用 (2件)
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