加熱処理装置の冷却方法及び加熱処理装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金本哲男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-241140
公開番号（公開出願番号）：特開2001-118789
出願日： 2000年08月09日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
要約：

【要約】【課題】加熱処理装置における熱板の温度を速やかに冷却する。【解決手段】ウエハを熱板70上で加熱するように構成された加熱処理装置において,少なくとも裏面が実質的にJIS明度0〜4Vの色を有する黒色プレート96を,熱板70の上方に位置させる。熱板70の裏面には,ノズル74から冷却用のエアが吹き付けられる。

請求項（抜粋）：

基板を熱板上で加熱するように構成された加熱処理装置において,少なくとも前記熱板に面した部分が熱吸収効率の良好な色を有する物体を,前記熱板の上方に位置させることを特徴とする,加熱処理装置の冷却方法。

IPC (5件)：

H01L 21/027 , F25D 1/00 , F25D 1/02 , H05B 3/16 , H05B 3/68

FI (5件)：

F25D 1/00 Z , F25D 1/02 Z , H05B 3/16 , H05B 3/68 , H01L 21/30 567

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭60-133727
温度制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-120937 出願人：株式会社小松製作所
特開昭62-169330

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