放射線検出素子および放射線検出素子の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松田正道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-104669
公開番号（公開出願番号）：特開2002-303676
出願日： 2001年04月03日
公開日（公表日）： 2002年10月18日
要約：

【要約】【課題】放射線検出に用いる光電変換膜は厚さを必要とするが、対向電極とリード線との接続を他の接続線を介することなく直接接続させる。【解決手段】放射線検出用のmm程度までの厚い光電変換膜4の端部の一部または全部に傾斜を持たせることにより、対向電極膜5の形成プロセスで対向電極5とリード線3を直接接続することを特徴とする放射線検出素子およびその製造方法。

請求項（抜粋）：

少なくとも1組の電極が形成された基板と、前記基板の前記1組の電極が形成された面上に、前記1組の電極のうち一方の電極の全部または前記一方の電極の少なくとも他方の電極の側の一部を被覆するように形成された、放射線を電荷に変換する光電変換膜と、前記光電変換膜の全部または一部と他方の電極の全部または一部を被覆する対向電極とを備え、前記光電変換膜の端部のうち前記対向電極に被覆されている部分であって、少なくとも前記他方の電極側に傾斜を形成したことを特徴とする放射線検出素子。

IPC (6件)：

G01T 1/24 , G01T 1/20 , H01L 27/14 , H01L 31/09 , H04N 5/32 , H04N 5/335

FI (6件)：

G01T 1/24 , G01T 1/20 B , H04N 5/32 , H04N 5/335 U , H01L 31/00 A , H01L 27/14 K

Fターム (33件)：

2G088FF02 , 2G088FF04 , 2G088GG21 , 2G088JJ05 , 2G088JJ09 , 2G088JJ31 , 2G088JJ33 , 2G088JJ37 , 4M118AA08 , 4M118BA01 , 4M118BA05 , 4M118CA14 , 4M118CB05 , 4M118CB14 , 4M118EA01 , 4M118FB13 , 4M118FB16 , 4M118GA10 , 5C024AX11 , 5C024AX16 , 5C024CY47 , 5C024CY48 , 5C024EX22 , 5F088AB01 , 5F088AB05 , 5F088AB09 , 5F088CA05 , 5F088CB07 , 5F088CB20 , 5F088EA08 , 5F088FA09 , 5F088LA07 , 5F088LA08

引用特許：

審査官引用 (10件)

X線平面検出器
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-048329 出願人：株式会社東芝
特開平3-190285
EL表示パネルのカラー表示用発光膜の成膜方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-266577 出願人：富士電機株式会社

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