特許
J-GLOBAL ID：200903039217891964

光学特性測定ユニット

発明者：
新倉 宏

新倉 宏 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 大垣 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-229763
公開番号（公開出願番号）：特開2000-180351
出願日： 1999年08月16日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：
【要約】【課題】 厚みが厚い被測定物の透過率をも精度良く測定する。【解決手段】 第1〜第4の反射面M1〜M4を、これらを経る光路がN字状となるようにかつ入射光L1と出射光L2とが同軸となるように、配置する。入射点Aおよび出射点Dを結ぶ線分と、M2からM3に進む光線の軌道との交点を光学系中心Oとする。M2は光学系中心Oと入射点Aとを焦点とする回転楕円面である。M3は光学系中心Oと出射点Dとを焦点とする回転楕円面である。M1およびM4の配置位置A,D各々で、前記N字状の光路を含む平面に直交する軸をそれぞれ中心として、M1およびM4を連動させて回転する反射面回転装置31を具える。また、厚みの厚い被測定物を測定する時、M1、M5、M6およびM4の順で光を反射させる。M5は、M1からの光を平行光に変えてM5に送る放物面鏡である。M6はM5からの光をM4に集光する放物面鏡である。
請求項（抜粋）：
第1の測定時は入射光を第1〜第4の反射面の順で反射し、第2の測定時は入射光を第1、第5、第6および第4の反射面の順で反射する、第1〜第6の反射面と、前記第1および第4の反射面を回転させる反射面回転装置と、被測定物を前記第2および第3の反射面間、または、前記第5および第6の反射面間に入れ出しする物体移動装置とを具え、前記第1〜第4の反射面を、前記第1〜第4の反射面を経る光路がN字状となるように、かつ、前記第1の反射面に入射される入射光と前記第4の反射面から出射される出射光とが同軸となるように、配置してあり、前記第1および第4の反射面それぞれを、前記N字状の光路を含む平面に対して垂直に配置した反射面としてあり、前記入射光の前記第1の反射面での入射点Aおよび前記第4の反射面での出射点Dを結ぶ線分と、前記第2の反射面から前記第3の反射面に進む光線の軌道との交点を、光学系中心Oと定義したとき、前記第2の反射面を、前記光学系中心Oと前記入射点Aとを焦点とする第1の回転楕円面により構成してあり、前記第3の反射面を、前記光学系中心Oと前記出射点Dとを焦点とする第2の回転楕円面により構成してあり、前記第5の反射面を、前記第1の反射面からの光を平行光に変える反射面としてあり、前記第6の反射面を、前記第5の反射面からの光を前記第4の反射面に集光する反射面としてあり、前記反射面回転装置を、前記第1および第4の反射面の配置位置各々で前記N字状の光路を含む平面に直交する軸をそれぞれ中心として、前記第1および第4の反射面を連動させて回転する装置としてあり、前記物体移動装置を、前記被測定物の被測定面が前記光学系中心を含む位置になるように前記被測定物を前記第2および第3の反射面間、または、前記第5および第6の反射面間に挿入する挿入状態と、挿入しない非挿入状態とを選択的に形成する装置としてあることを特徴とする光学特性測定ユニット。
IPC (5件)：
G01N 21/01 ,  G01N 21/21 ,  G01N 21/27 ,  G01N 21/41 ,  G01N 21/59
FI (5件)：
G01N 21/01 Z ,  G01N 21/21 Z ,  G01N 21/27 Z ,  G01N 21/41 Z ,  G01N 21/59 Z
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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