回転センサ及び回転センサ装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：伊藤高順 , 加藤大登 , 永井聡 , 碓氷裕彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-175247
公開番号（公開出願番号）：特開2009-258122
出願日： 2009年07月28日
公開日（公表日）： 2009年11月05日
要約：

【課題】小型化に優れた回転センサを提供する。【解決手段】半導体基板10に縦型ホール素子11が作り込まれ、半導体基板10の表面に平行な磁界を検出する。半導体基板10上に磁気抵抗素子12,13が形成され、半導体基板10の表面に平行な磁界の強さにより抵抗値が変化する。arctan演算器によって、磁気抵抗素子12により得られる信号と磁気抵抗素子13により得られる信号をarctanの演算をする。パルス化回路により、縦型ホール素子11の出力信号をパルス化する。合成器によりarctan演算器による信号と、パルス化回路による信号を合成して0〜360°の角度においてリニアな出力が得られる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

半導体基板に作り込まれ、半導体基板の表面に平行な磁界を検出する縦型ホール素子と、前記記縦型ホール素子を作り込んだ前記半導体基板上に形成され、半導体基板の表面に平行な磁界の強さにより抵抗値が変化する磁気抵抗素子と、を備え、前記縦型ホール素子の出力信号と前記磁気抵抗素子により得られる信号を用いて被検出体の回転を検出するようにした回転センサにおいて、前記縦型ホール素子及び前記磁気抵抗素子は前記半導体基板の表面に平行な磁界を検出することを特徴とする回転センサ。

IPC (3件)：

G01D 5/245 , H01L 43/06 , H01L 43/08

FI (3件)：

G01D5/245 Z , H01L43/06 S , H01L43/08 Z

Fターム (22件)：

2F077AA30 , 2F077CC09 , 2F077NN04 , 2F077NN17 , 2F077NN21 , 2F077PP12 , 2F077PP15 , 2F077TT16 , 2F077TT42 , 5F092AA12 , 5F092AB01 , 5F092AC02 , 5F092AC05 , 5F092BA03 , 5F092BA12 , 5F092BA15 , 5F092BA23 , 5F092BA37 , 5F092BB04 , 5F092BB42 , 5F092BC42 , 5F092EA04

引用特許：

出願人引用 (2件)

回転検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-334467 出願人：株式会社デンソー
回転センサの検出信号処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-084177 出願人：株式会社デンソー, トヨタ自動車株式会社

審査官引用 (6件)

非接触回転角検出装置
公報種別：公表公報出願番号：特願平11-500090 出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
特開平1-251763
縦型ホール素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-314416 出願人：株式会社デンソー

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