特許
J-GLOBAL ID：200903039248655967
石英ガラス光学部材、その製造方法、及び投影露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-205906
公開番号（公開出願番号）：特開平10-053432
出願日： 1996年08月05日
公開日（公表日）： 1998年02月24日
要約：
【要約】【課題】 波長220nm以下の真空紫外領域になると急激に透過率が悪化するため、ArFエキシマレーザステッパの光学部材としては全く使用できないような、光路長1cm当たりの吸収量が数%以上になってしまう場合があった。【解決手段】 250nm以下の波長領域の光学系に使用される石英ガラス光学部材において、石英ガラス中に含有されるNaの濃度が20ppb以下とする。
請求項（抜粋）：
250nm以下の波長領域の光学系に使用される石英ガラス光学部材において、石英ガラス中に含有されるNaの濃度が20ppb以下であることを特徴とする石英ガラス光学部材。
IPC (4件)：
C03C 3/06
, C03B 8/04
, C03B 19/14
, C03B 20/00
C03C 3/06
, C03B 8/04
, C03B 19/14
, C03B 20/00
