特許

J-GLOBAL ID：200903039285923866

検査方法および検査装置

発明者： 藤枝 紫朗
出願人/特許権者： オムロン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 由充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-036332
公開番号（公開出願番号）：特開2005-228062
出願日： 2004年02月13日
公開日（公表日）： 2005年08月25日
要約：

【課題】 エッジ付近の欠陥を抽出する能力を高めることで、検査の精度を大幅に向上する。【解決手段】 対象物を撮像して得られた処理対象画像およびモデルの画像を含む基準画像のそれぞれについて、各画素の濃度勾配方向に直交する方向を示す角度データ(エッジコード)を算出し、このエッジコードを座標に対応づけたデータ(エッジコード画像)を作成する。対象物のエッジコード画像ICにおいて、エッジを示す画素gに着目し、モデルのエッジコード画像MC上で画素gに対応する座標を基準に所定大きさのマスクMを設定する。そして、このマスクM内の各画素のエッジコードと画素gのエッジコードとを順に比較する。この比較処理において、画素gに対応するエッジコードが抽出されなかった場合には、前記画素gは欠陥のエッジを示すものとみなされる。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

対象物を撮像して得られた濃淡画像をモデルの画像を含む基準画像と比較して、前記対象物のエッジの適否を検査する方法であって、 前記対象物の濃淡画像および基準画像のそれぞれについて、少なくとも濃度勾配の大きさが所定値を超える画素毎に、濃度勾配方向に基づく角度データを算出し、 前記対象物の濃淡画像上で濃度勾配の大きさが前記所定値を超える画素を着目画素として、前記基準画像上で着目画素に対応する座標を基準に所定大きさのマスクを設定するステップAと、前記マスク内の各画素と前記着目画素との間で前記角度データを順に比較するステップBと、前記ステップBにおいて着目画素に対応する角度データを抽出できなかったとき、前記着目画素をモデルとの不一致部分として抽出するステップCとを実行することを特徴とする検査方法。

IPC (4件)：

G06T7/60 ,  G01B11/30 ,  G01N21/88 ,  G06T1/00

FI (4件)：

G06T7/60 300A ,  G01B11/30 A ,  G01N21/88 J ,  G06T1/00 280

Fターム (42件)：

2F065AA01 ,  2F065AA49 ,  2F065AA58 ,  2F065FF41 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ33 ,  2F065QQ37 ,  2F065QQ52 ,  2F065RR09 ,  2G051AA90 ,  2G051AB02 ,  2G051CA04 ,  2G051EA14 ,  2G051EB09 ,  2G051ED01 ,  2G051ED21 ,  5B057AA01 ,  5B057AA11 ,  5B057BA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC16 ,  5B057DC36 ,  5L096AA06 ,  5L096BA03 ,  5L096CA02 ,  5L096FA06 ,  5L096FA67 ,  5L096GA06 ,  5L096JA11

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 検査方法およびその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-334286   出願人：オムロン株式会社

審査官引用 (3件)

• 画像検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-223945   出願人：大日本印刷株式会社
• 欠陥検出方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-117836   出願人：株式会社ロゼフテクノロジー
• 検査方法およびその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-334286   出願人：オムロン株式会社