特許
J-GLOBAL ID:200903072919509283

検査方法およびその装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴木 由充
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-334286
公開番号(公開出願番号):特開2002-140695
出願日: 2000年11月01日
公開日(公表日): 2002年05月17日
要約:
【要約】【課題】 濃淡むらのある部分における欠陥や微小な欠陥まで、簡単かつ精度良く検出できるようにする。【解決手段】 検査装置1は、検査に先立ち、欠陥のないモデルを撮像して得られた基準画像を取り込み、膨張処理および収縮処理を行い、得られた膨張画像および収縮画像を装置内の画像メモリ3内に保存する。検査時には、検査対象画像について、膨張画像上の対応画素よりも明るい画素と収縮画像上の対応画素よりも暗い画素とを抽出し、その抽出結果を統合した欠陥抽出画像から欠陥の有無を判別する。
請求項(抜粋):
所定の対象物を撮像して得られた濃淡画像をコンピュータに取り込んで前記対象物における欠陥の有無を検査する方法であって、前記検査に先立ち、欠陥のない対象物のモデルを撮像して得られた基準画像を膨張および収縮して、得られた膨張画像および収縮画像をメモリ内に登録しておき、検査対象物の濃淡画像につき、前記膨張画像および収縮画像のそれぞれに対する差異を抽出し、各抽出結果から検査対象物における欠陥の有無を判別するための判定用データを生成することを特徴とする検査方法。
IPC (3件):
G06T 1/00 300 ,  G01N 21/88 ,  G06T 7/00 200
FI (3件):
G06T 1/00 300 ,  G01N 21/88 J ,  G06T 7/00 200 A
Fターム (24件):
2G051AA90 ,  2G051AB02 ,  2G051AC04 ,  2G051CA04 ,  2G051ED15 ,  2G051ED30 ,  5B057AA01 ,  5B057BA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB08 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CE09 ,  5B057DA02 ,  5B057DA07 ,  5B057DC22 ,  5B057DC32 ,  5L096BA03 ,  5L096EA02 ,  5L096FA17 ,  5L096GA08 ,  5L096GA41
引用特許:
審査官引用 (11件)
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