特許
J-GLOBAL ID：200903039288862370

電磁波測定装置

発明者：
高橋 邦廣

高橋 邦廣 について


出願人/特許権者：
富士ゼロックス株式会社

富士ゼロックス株式会社 について


代理人 (1件)： 岩上 昇一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-366755
公開番号（公開出願番号）：特開平11-044719
出願日： 1997年12月26日
公開日（公表日）： 1999年02月16日
要約：
【要約】【課題】2次元アンテナ配列アレーにより、半導体基板等の電子部品から発せられる電磁波の強度を測定し、その電磁波の発生状況を分かり易く3次元表示すること。【解決手段】 測定手段は、微小ループアンテナを2次元のマトリクス配置したアンテナ部により測定対象からの電磁波を受信し、検波およびフーリエ変換等の信号処理を行って、2次元的な広がりを持つ測定対象から放射される電磁波の強度分布や周波数に関する測定データを得る。補正手段は、各検出点の電磁波の測定データをその近傍の複数の検出点の測定データを参照して補正する。例えば、空間フィルタの手法を用いて、測定データの平滑化処理を行う。これにより検出点の配列に起因する規則的な検出感度のむらを補正し、検出感度のむらによる刺々しい画像を平滑化することができ、3次元表示した際に定在波などの連続した強度変化の様子が判り易くなる。
請求項（抜粋）：
2次元配列の検出点を有し、各検出点の電磁波の測定を行う測定手段と、前記測定手段により測定された各検出点の電磁波の測定データをその近傍の複数の検出点の測定データを参照して補正する補正手段と、前記補正手段により補正された測定データを3次元表示する表示手段とを備えたことを特徴とする電磁波測定装置。
引用特許：
審査官引用 (7件)
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