特許
J-GLOBAL ID：200903039338356624
ウエハ研磨装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
工藤 一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-328107
公開番号（公開出願番号）：特開平11-156709
出願日： 1997年11月28日
公開日（公表日）： 1999年06月15日
要約：
【要約】【課題】 ウエハ上に形成された薄膜にバラツキがある場合、またウエハの膜厚自体にバラツキがある場合、またウエハが反っているような場合にはウエハ上に形成された薄膜を均一に所定量研磨するということが困難である。【解決手段】 ウエハ研磨面の重心を中心とするウエハ保持面内の任意回転位置にウエハ132を固定することができるウエハホルダ130を弾性体を介して保持するとともに、定盤に対して傾斜して配置することにより、ウエハの一部分のみを定盤に接触させて研磨することができるウエハ研磨装置を提供する。
請求項（抜粋）：
ウエハホルダを弾性体を介して保持するとともに、定盤に対して傾斜して配置することにより、ウエハの一部分のみを定盤に接触させて研磨することができるウエハ研磨装置であって前記ウエハホルダは、ウエハ研磨面の重心を中心とするウエハ保持面内の任意回転位置にウエハを固定することができるウエハ研磨装置。
IPC (2件)：
B24B 37/04
, H01L 21/304 321
B24B 37/04 E
, H01L 21/304 321 H
