先鋭化カーボンナノチューブ及びそれを用いた電子源

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井上学
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-058828
公開番号（公開出願番号）：特開2007-242253
出願日： 2006年03月06日
公開日（公表日）： 2007年09月20日
要約：

【課題】本発明の目的は、電子顕微鏡の電子源の電界強度を向上させ、取得する観察画像を鮮明とすることにある。【解決手段】上記目的を解決する本発明の特徴は、カーボンナノチューブを有する電子放出陰極と、電子を電界放出させる引出装置とを有する電子顕微鏡であって、先端部に略円錐形状の鋭角部を有するカーボンナノチューブを用いる点にある。また、鋭角部を有するカーボンナノチューブを、相転移温度より低温側及び高温側で静置して熱処理する工程を有する製造方法を用いる点にある。【選択図】図2b

請求項（抜粋）：

カーボンナノチューブを有する電子放出陰極と、電子を電界放出させる引出装置とを有する電子顕微鏡であって、前記カーボンナノチューブは電子を放出する側の先端部が略円錐形状を有し、先端部が閉構造であることを特徴とする電子顕微鏡。

IPC (6件)：

H01J 37/073 , H01J 1/304 , H01J 9/02 , G01N 13/16 , G12B 21/02 , C01B 31/02

FI (7件)：

H01J37/073 , H01J1/30 F , H01J9/02 B , G01N13/16 C , G01N13/16 A , G12B1/00 601A , C01B31/02 101F

Fターム (31件)：

4G146AA11 , 4G146AC03A , 4G146AC03B , 4G146AD21 , 4G146BA02 , 4G146BA15 , 4G146BC04 , 4G146BC07 , 4G146BC09 , 4G146BC17 , 4G146BC23 , 4G146BC33A , 4G146BC33B , 4G146BC34A , 4G146BC34B , 4G146BC37A , 4G146BC37B , 4G146BC38B , 4G146BC44 , 4G146BC47 , 4G146DA17 , 5C030BB02 , 5C127AA04 , 5C127AA20 , 5C127BA10 , 5C127BB07 , 5C127CC03 , 5C127DD32 , 5C135AA10 , 5C135AB07 , 5C135HH06

引用特許：

出願人引用 (1件)

カーボンナノチューブを有する電子源とそれを用いた電子顕微鏡および電子線描画装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-234297 出願人：株式会社日立製作所

審査官引用 (6件)

円筒状黒鉛繊維と製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-108070 出願人：日本電気株式会社
カーボンナノチューブを用いた陰極
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-145556 出願人：日本電気株式会社
電子源及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-050852 出願人：大研化学工業株式会社, 中山喜萬

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