電子源及びその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：三木久巳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-050852
公開番号（公開出願番号）：特開2005-243389
出願日： 2004年02月26日
公開日（公表日）： 2005年09月08日
要約：

【課題】低電圧で高効率に電子ビームを電界放出することができる電子顕微鏡などに用いられる電子源を実現する。【解決手段】本発明に係る電子源1は、ナノチューブ2と、このナノチューブ2を保持する陰極ホルダー4と、前記ナノチューブ2の基端部42を前記陰極ホルダー4に導通状態で被覆固定するコーティング被膜部40から構成され、ナノチューブ2の先端2aから電子ビーム8を電界放出することができる。電子源1は、ナノチューブ2を陰極として用いるから、ナノチューブ先端2aに電気力線を高密度に集中させることができ、ナノチューブ2と第1アノード34に印加される引出電圧が低電圧の場合においても、電子ビーム8を高効率に電界放出することができる。ナノチューブ2を陰極として用いることにより、電子ビーム8のビーム径を高効率に集束することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ナノチューブと、このナノチューブを保持する陰極ホルダーと、前記ナノチューブの基端部を前記陰極ホルダーに導通状態で固着する固定部から少なくとも構成され、前記ナノチューブと陰極ホルダー間の接触電気抵抗が3kΩ〜1MΩに設定され、前記ナノチューブの先端から電子ビームを電界放出することを特徴とする電子源。

IPC (3件)：

H01J1/304 , H01J9/02 , H01J37/073

FI (3件)：

H01J1/30 F , H01J9/02 B , H01J37/073

Fターム (27件)：

5C030CC02 , 5C127AA04 , 5C127BA10 , 5C127BA15 , 5C127BB07 , 5C127CC03 , 5C127CC10 , 5C127CC63 , 5C127DD03 , 5C127DD08 , 5C127DD38 , 5C127DD66 , 5C127DD69 , 5C127EE02 , 5C127EE06 , 5C127EE15 , 5C127EE17 , 5C135AA10 , 5C135AA15 , 5C135AB07 , 5C135AC03 , 5C135AC29 , 5C135FF20 , 5C135GG16 , 5C135HH02 , 5C135HH06 , 5C135HH16

引用特許：

出願人引用 (2件)

走査電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-092441 出願人：株式会社日立製作所
電界放出型透過電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-145128 出願人：株式会社日立製作所

審査官引用 (5件)

平面表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-190587 出願人：株式会社日立製作所
電子線加速装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-100817 出願人：株式会社日立製作所
平面表示装置およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-393108 出願人：株式会社日立製作所

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