特許
J-GLOBAL ID:200903039429466759

磁気記録媒体用マスタディスクの検査方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-397647
公開番号(公開出願番号):特開2002-197645
出願日: 2000年12月27日
公開日(公表日): 2002年07月12日
要約:
【要約】【課題】 磁気記録媒体用マスタディスクの強磁性薄膜層の欠陥を、厳格かつ能率的に検査する。【解決手段】 マスタディスク10に対する情報記録部の形成と同時に、情報記録部と同心の円周上で複数個所に位置合わせ用の指標16を形成しておく工程(a)と、情報記録部の良品の形状パターンを示す良品情報60を準備しておく工程(b)と、マスタディスク10の情報記録部および指標16の画像を画像取得部30などで取得する工程(c)と、コンピュータ50などを用いて、指標16の画像を基準にして情報記録部の画像と良品情報60とを位置合わせしたあと、情報記録部の画像と良品情報60とを比較して情報記録部の形状パターンを検査する工程(d)とを含む。
請求項(抜粋):
磁気記録媒体に初期情報を転写記録するマスタディスクに形成された強磁性薄膜層からなる情報記録部の形状パターンを検査する方法であって、前記マスタディスクに対する情報記録部の形成と同時に、情報記録部と同心の円周上で複数個所に位置合わせ用の指標を形成しておく工程(a)と、前記情報記録部の良品の形状パターンを示す良品情報を準備しておく工程(b)と、前記マスタディスクの情報記録部および指標の画像を取得する工程(c)と、前記指標の画像を基準にして情報記録部の画像と良品情報とを位置合わせしたあと、情報記録部の画像と良品情報とを比較して情報記録部の形状パターンを検査する工程(d)とを含む磁気記録媒体用マスタディスクの検査方法。
IPC (2件):
G11B 5/84 ,  G11B 5/86
FI (2件):
G11B 5/84 C ,  G11B 5/86 C
Fターム (2件):
5D112AA24 ,  5D112JJ06
引用特許:
審査官引用 (8件)
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