特許
J-GLOBAL ID：200903072201099800

検出器対物レンズ装置

発明者：
コウシ ウエダ

コウシ ウエダ について

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トシミチ イワイ

トシミチ イワイ について

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ゲラルド シェーネッカー

ゲラルド シェーネッカー について

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ユルゲン フロジエン

ユルゲン フロジエン について


出願人/特許権者：
エイシーティー アドバンスト サーキット テスティング ゲゼルシャフト フュア テストジュステームエントヴィックリング ミット ベシュレンクテル ハフツング

エイシーティー アドバンスト サーキット テスティング ゲゼルシャフト フュア テストジュステームエントヴィックリング ミット ベシュレンクテル ハフツング について


代理人 (1件)： 松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-173615
公開番号（公開出願番号）：特開平10-064464
出願日： 1997年06月30日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：
【要約】【課題】 試験片にて放出された荷電粒子の質的評価を改良し、解像特性を犠牲にすることなく検出の質を改善することを目的とする。【解決手段】 荷電粒子線装置(1) のための検出器対物レンズ装置(6,6')は、磁気レンズ(60)及び電界レンズ(61)からなる主レンズと試験片にて放出された荷電粒子を検出するための検出器(62)とを有し、更に、試験片にて放出された荷電粒子に対して影響を与えるために静電場及び/ 又は磁場を生成するための付加レンズ(64)が主レンズと検出器の間に設けられる。主レンズと付加レンズの場(9,10)は実質的に互いに分離されている。
請求項（抜粋）：
磁気レンズ(60)と電界レンズ(61)からなり荷電粒子線を試験片上に焦点合わせするための主レンズと、上記試験片にて放出された荷電粒子を検出するために荷電粒子線(2) 方向に上記磁気レンズ(60)の前方に配置された検出器(62)と、を有する荷電粒子線装置(1) のための検出器対物レンズ装置(6,6')において、上記荷電粒子に対して影響を与えるために静電場及び/ 又は磁場を生成するための付加レンズ(64)が上記主レンズと上記検出器の間に設けられ、上記主レンズと上記付加レンズの場(9,10)は実質的に互いに分離されていることを特徴とする検出器対物レンズ装置。
IPC (2件)：
H01J 37/145 ,  H01J 37/141
FI (2件)：
H01J 37/145 ,  H01J 37/141 Z
引用特許：
審査官引用 (20件)
  • 荷電粒子線装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-112884   出願人：株式会社ニコン
  • 走査電子顕微鏡と二次電子検出系
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-219851   出願人：株式会社日立製作所
  • 特開平1-298633
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