特許
J-GLOBAL ID：200903039500699751

デバイスの製造方法、デバイス、及び電子機器

発明者：
長谷井 宏宣

長谷井 宏宣 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 渡邊 隆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-118292
公開番号（公開出願番号）：特開2003-317945
出願日： 2002年04月19日
公開日（公表日）： 2003年11月07日
要約：
【要約】【課題】 液滴吐出装置を用いて基板上に微細なパターンを形成する際、その線幅などを精度よく形成することができるようにした、デバイスの製造方法、さらにはデバイス、及び電子機器を提供する。【解決手段】 基板P上に膜材料を含有した液状体を配し、膜材料からなるパターンを形成するデバイスの製造方法である。基板P上にバンク22を形成する工程と、液滴吐出法により液状体23aからなる液滴23をバンク22、22間に吐出する工程と、吐出された液状体23aを乾燥してパターン24を形成する工程とを有している。隣接するバンク22、22間の幅を、液状体23aの液滴23の直径より狭く形成する。
請求項（抜粋）：
基板上に膜材料を含有した液状体を配し、前記膜材料からなるパターンを形成するデバイスの製造方法において、前記基板上にバンクを形成する工程と、液滴吐出法により前記液状体からなる液滴をバンク間に吐出する工程と、吐出された液状体を乾燥して前記パターンを形成する工程とを有し、隣接する前記バンク間の幅を、前記液状体の液滴の直径より狭く形成することを特徴とするデバイスの製造方法。
IPC (8件)：
H05B 33/10 ,  B05C 5/00 101 ,  B41J 2/01 ,  H01L 21/288 ,  H05B 33/12 ,  H05B 33/14 ,  H05B 33/22 ,  G02F 1/13 101
FI (8件)：
H05B 33/10 ,  B05C 5/00 101 ,  H01L 21/288 Z ,  H05B 33/12 B ,  H05B 33/14 A ,  H05B 33/22 Z ,  G02F 1/13 101 ,  B41J 3/04 101 Z
Fターム (25件)：
2C056FA02 ,  2C056FA15 ,  2C056FB01 ,  2H088EA22 ,  2H088EA27 ,  2H088FA17 ,  2H088FA18 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088HA02 ,  2H088HA04 ,  2H088MA20 ,  3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4F041AA05 ,  4F041AA17 ,  4F041AB01 ,  4F041BA01 ,  4M104BB04 ,  4M104BB05 ,  4M104BB07 ,  4M104BB08 ,  4M104BB09 ,  4M104DD51
引用特許：
審査官引用 (7件)
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