特許
J-GLOBAL ID：200903039503770325

ワークを加熱または冷却するための装置と、その製造方法

発明者：
二口谷 淳

二口谷 淳 について

, 
立川 俊洋

立川 俊洋 について


出願人/特許権者：
日本発条株式会社

日本発条株式会社 について


代理人 (8件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  峰 隆司 ,  福原 淑弘 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-228395
公開番号（公開出願番号）：特開2006-049568
出願日： 2004年08月04日
公開日（公表日）： 2006年02月16日
要約：
【課題】 シャフト部材とプレート部材との接合部等が熱応力によって破損することを防止できるヒータ装置を提供する。【解決手段】 ヒータ装置12は、シャフト部材20とプレート部材21を有している。シャフト部材20は、シャフト本体30と、該シャフト本体30の端部に形成されたフランジ部31とを備えている。プレート部材21は、複数のプレート要素51,52,53をろう付することによって構成される。プレート要素51に、フランジ部31を挿入する凹部80が形成されている。フランジ部31の周面と凹部80の内周面との間に、ギャップGが形成される。凹部80にフランジ部31を挿入し、加圧用治具によってフランジ部31に荷重を加えかつ加熱することにより、フランジ部31の端面70がプレート要素51にろう付される。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
シャフト部材と、 前記シャフト部材の端部に固定されるプレート部材と、 を備え、 前記シャフト部材は、シャフト本体と、該シャフト本体の端部に該シャフト本体と一体に成形されかつ該シャフト本体よりも大きい径を有するフランジ部とを有し、 前記プレート部材は、前記フランジ部を収容する凹部を有し、さらに、 前記プレート部材に対する前記フランジ部の径方向の位置決めをなす位置決め部と、 前記フランジ部の周面と前記凹部の内周面との間に形成されるギャップと、 前記凹部内において前記フランジ部の端面と前記プレート部材を互いに接合するろう付部と、 を具備したことを特徴とするワークを加熱または冷却するための装置。
IPC (2件)：
H01L 21/02 ,  H01L 21/683
FI (2件)：
H01L21/02 Z ,  H01L21/68 N
Fターム (6件)：
5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA37 ,  5F031HA38 ,  5F031PA11
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 加熱装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-140272   出願人：日本発条株式会社
  • 特許第2525974号公報
審査官引用 (2件)
  • ステージ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-314378   出願人：日本発条株式会社
  • ステージ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-374333   出願人：日本発条株式会社

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