特許
J-GLOBAL ID：200903039504100382
測定制御系における制御回路の制御パラメータ設定方法および測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
木下 實三
, 中山 寛二
, 石崎 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-268753
公開番号（公開出願番号）：特開2006-085383
出願日： 2004年09月15日
公開日（公表日）： 2006年03月30日
要約：
【課題】 測定制御系におけるハンチングの発生を的確に防止するゲインを高精度に設定でき、測定を安定かつ迅速に行うことを可能にする、制御回路のゲイン設定方法を提供すること。【解決手段】 N個のゲインGiを順次制御回路23に仮設定し、スタイラス131を被測定物Wに接触させて仮測定を行う。このときセンサ検出回路21から出力されるセンサ検出信号を、フィルタ31によって濾波し、制御回路23を含む閉ループLに生じるハンチングの周波数に対応する周波数成分のみを取り出す。この周波数成分の大きさSiを基準値S0と比較し、Sj<S0となって閉ループLにハンチングを生じさせないGjを抽出し、さらに、測定の速応性の向上等の観点から各Gjのうち最大のものを制御回路23に設定する。したがって、この設定ゲインによれば、測定を安定にかつ迅速に行うことができる。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
被測定物の測定に関与して測定信号を出力する測定手段と、
所定の目標値と前記測定信号の出力値との偏差に基づく制御信号を出力する制御回路と、
前記制御信号に基づいて、前記測定信号の出力値が前記目標値と一致されるように前記測定手段を制御する制御手段と、
を備える測定制御系における制御回路の制御パラメータ設定方法において、
前記制御回路の制御パラメータをQi(i=1、2、・・・、N)に仮設定した上で仮測定を行い、その際に出力される前記測定信号に基づく仮測定データSiを所定時間にわたって取得する仮測定データ取得工程を、互いに異なるN種類の制御パラメータ(Q1、Q2、・・・、QN)について順次行ったのち、
取得された前記各仮測定データSiごとに周波数分析を行い、前記測定制御系における所定の振動周波数に対応する周波数成分の大きさが所定の基準値未満となる仮測定データSiを抽出する抽出工程と、
抽出された前記各仮測定データSiに対応する各制御パラメータQiのうち、最大の周波数特性を有するQiを前記制御回路の制御パラメータに設定する制御パラメータ設定工程と、
を行うことを特徴とする制御回路の制御パラメータ設定方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (20件)：
2F069AA04
, 2F069AA66
, 2F069GG01
, 2F069GG04
, 2F069GG06
, 2F069GG07
, 2F069GG59
, 2F069HH01
, 2F069HH09
, 2F069JJ08
, 2F069MM32
, 2F069NN02
, 2F069NN07
, 5H004GA06
, 5H004GB20
, 5H004KB26
, 5H004KC05
, 5H004KC39
, 5H004MA06
, 5H004MA14
