特許
J-GLOBAL ID：200903096663163186

測定制御系における制御回路の制御パラメータ補正方法および測定装置

発明者：
齋藤 章憲

齋藤 章憲 について

, 
日高 和彦

日高 和彦 について


出願人/特許権者：
株式会社ミツトヨ

株式会社ミツトヨ について


代理人 (3件)： 木下 實三 ,  中山 寛二 ,  石崎 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-268752
公開番号（公開出願番号）：特開2006-085382
出願日： 2004年09月15日
公開日（公表日）： 2006年03月30日
要約：
【課題】 制御回路の制御パラメータを適宜補正することにより、測定制御系の周波数特性を最大に保持することができる、測定制御系における制御回路の制御パラメータ補正方法を提供すること。【解決手段】 スタイラス131を被測定物Wに押し込んで接触測定を行う。このとき、スタイラス131の押し込み量を表す変位信号と、スタイラス131の受ける測定負荷に応じてセンサ13から出力されるセンサ信号とを測定し、この2つの信号を基にセンサ13のゲインGs ́を算出する。Gs ́の値は、スタイラス131および被測定物Wの性状によって異なるが、以上のように算出されたGs ́に応じて制御回路のゲインを補正することによって、スタイラス131および被測定物Wの少なくともいずれかを性状の異なるものに交換した場合においても、測定制御系の周波数特性を最大に保持することができる。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
被測定物の測定に関与して測定信号を出力する測定手段と、 所定の目標値と前記測定信号の出力値との偏差に基づく制御信号を出力する制御回路と、 前記制御信号に基づいて、前記測定信号の出力値が前記目標値と一致されるように前記測定手段を制御する制御手段と、 を備える測定制御系における制御回路の制御パラメータ補正方法において、 前記測定制御系における最大の周波数特性を与える制御パラメータQを記憶する記憶工程と、 前記測定手段および前記被測定物の少なくともいずれかを性状の異なるものに交換することによって生じる前記測定手段の制御パラメータの見かけ上の変化を相殺するように前記制御回路の制御パラメータを補正し、前記測定制御系全体の制御パラメータを記憶された前記Qに保持する制御パラメータ補正工程と、 を行うことを特徴とする制御回路の制御パラメータ補正方法。
IPC (3件)：
G05B 11/36 ,  G05B 13/02 ,  G05D 3/12
FI (3件)：
G05B11/36 503C ,  G05B13/02 B ,  G05D3/12 305V
Fターム (21件)：
2F069AA00 ,  2F069AA04 ,  2F069AA51 ,  2F069AA61 ,  2F069GG01 ,  2F069HH02 ,  5H004GA06 ,  5H004GA16 ,  5H004HA07 ,  5H004HB07 ,  5H004JA04 ,  5H004KB28 ,  5H004KC54 ,  5H004KC56 ,  5H303AA20 ,  5H303BB03 ,  5H303BB08 ,  5H303CC02 ,  5H303CC03 ,  5H303KK22 ,  5H303KK23
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (4件)
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