特許
J-GLOBAL ID：200903039516214006
サイドウォール除去液
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-220864
公開番号（公開出願番号）：特開2000-056478
出願日： 1998年08月04日
公開日（公表日）： 2000年02月25日
要約：
【要約】【課題】 配線材料を腐食することなく低温かつ短時間でサイドウォールを1工程で容易に低コストで除去できるサイドウォール除去液を提供する。【解決手段】 酸化剤を含有するサイドウォール除去液を用いることにより課題を解決できる。前記酸化剤としては、オゾン、過酸化水素、次亜塩素酸または次亜塩素酸塩、亜塩素酸または亜塩素酸塩、過塩素酸または過塩素酸塩、次亜臭素酸または次亜臭素酸塩、亜臭素酸または亜臭素酸塩、過臭素酸または過臭素酸塩、次亜ヨウ素酸または次亜ヨウ素酸塩、亜ヨウ素酸または亜ヨウ素酸塩などから成る群から選択される少なくとも1つの酸化剤を好ましく使用できる。
請求項（抜粋）：
酸化剤を含有することを特徴とするサイドウォール除去液。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F 7/42
, H01L 21/308 Z
2H096AA25
, 2H096LA13
, 5F043AA40
, 5F043BB30
, 5F043GG02
