特許
J-GLOBAL ID：200903039566141557
導電性反射防止膜
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-181072
公開番号（公開出願番号）：特開平11-023804
出願日： 1997年07月07日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：
【要約】【課題】薄膜で導電性と可視光線透過率が高く、かつ可視光反射率も低く、しかも耐湿性が強く、経時安定性に優れた導電性反射防止膜を提供する。【解決手段】銀系薄膜と、銀系薄膜を挟持する透明酸化物薄膜とからなる導電性反射防止膜において、透明酸化物薄膜が、酸化スズ、酸化インジウム、酸化セリウム、および酸化ガリウムを含有する4元系の混合酸化物から成り、かつ、透明酸化物薄膜の厚み方向にインジウムあるいはスズの濃度が異なっており、銀系薄膜には 1.5at%(原子パーセント)以上の金元素を含有せしめたことを特徴とする導電性反射防止膜。
請求項（抜粋）：
銀系薄膜と、銀系薄膜を挟持する透明酸化物薄膜とからなる導電性反射防止膜において、透明酸化物薄膜が、酸化スズ、酸化インジウム、酸化セリウム、および酸化ガリウムを含有する4元系の混合酸化物から成り、かつ、透明酸化物薄膜の厚み方向にインジウムあるいはスズの濃度が異なっており、銀系薄膜には 1.5at%(原子パーセント)以上の金元素を含有せしめたことを特徴とする導電性反射防止膜。
IPC (7件)：
G02B 1/11
, B32B 7/02 103
, B32B 9/00
, G02B 1/10
, G02F 1/1335 510
, G09F 9/00 309
, G09F 9/00 318
G02B 1/10 A
, B32B 7/02 103
, B32B 9/00 A
, G02F 1/1335 510
, G09F 9/00 309 Z
, G09F 9/00 318 A
, G02B 1/10 Z
