特許
J-GLOBAL ID：200903039598755166
高圧ガス容器の気密検査方法およびその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平山 一幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-168890
公開番号（公開出願番号）：特開2000-002615
出願日： 1998年06月16日
公開日（公表日）： 2000年01月07日
要約：
【要約】【課題】 より高精度の検査が可能で、しかも効率的でランニングコストの安い検査を実現し得る気密検査方法および装置を提供する。【解決手段】 高圧ガス容器100にヘリウムガスおよび空気からなるミックスガスを所定圧力で封入混合してチャンバ2内の所定位置にセットし、チャンバ2内を真空引き後、チャンバ2内の試料ガスを一定時間拡散し、その試料ガスをチャンバ2から採取して、ヘリウム・リークディテクタ12によって高圧ガス容器100からヘリウム漏れを検出する。その際、高圧ガス容器100に17kg/cm2 G以上の圧力でミックスガスを封入し、そのヘリウム濃度を0.1〜1.0%に設定する。
請求項（抜粋）：
高圧ガス容器にヘリウムガスおよび空気からなるミックスガスを所定圧力で封入混合してチャンバ内の所定位置にセットし、該チャンバ内の真空引き後、上記チャンバ内の試料ガスを一定時間拡散し、その試料ガスを上記チャンバから採取して、ヘリウム・リークディテクタによって上記高圧ガス容器からヘリウム漏れを検出するようにしたことを特徴とする高圧ガス容器の気密検査方法。
Fターム (5件)：
2G067AA06
, 2G067BB03
, 2G067CC13
, 2G067DD18
, 2G067EE09
