特許
J-GLOBAL ID:200903039702195763

バリア性積層フィルム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 石川 泰男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-234266
公開番号(公開出願番号):特開2002-046209
出願日: 2000年08月02日
公開日(公表日): 2002年02月12日
要約:
【要約】【課題】 すでに提案されている塗工液の再現性や安定性に優れるORMOCERと組合せた場合も、高度なバリア性能の発現が可能となるように金属酸化物蒸着層の化学的、物理的性状を最適化したバリア性積層フィルムを提供することを主目的とするものである。【解決手段】 上記目的を達成するために、本発明は、フィルム基材上に物理的蒸着法(PVD法)および/または低温プラズマ気相成長法(CVD法)により金属酸化物層が形成され、この金属酸化物層上に無機・有機ハイブリッドポリマー層(ORMOCER層)が積層されてなるバリア性積層フィルムにおいて、上記金属酸化物層が、ケイ素酸化物、および/または炭化ケイ素酸化物からなり、かつa)膜厚:100〜5000Åb)比表面積:0.2〜2.0m2/g、およびc)平均細孔径:0.7〜2.0nmの全てを満たすことを特徴とするバリア性積層フィルムを提供する。
請求項(抜粋):
フィルム基材上に物理的蒸着法(PVD法)および/または低温プラズマ気相成長法(CVD法)により金属酸化物層が形成され、この金属酸化物層上に無機・有機ハイブリッドポリマー層(ORMOCER層)が積層されてなるバリア性積層フィルムにおいて、前記金属酸化物層が、ケイ素酸化物、および/または炭化ケイ素酸化物からなり、かつa)膜厚:100〜5000Åb)比表面積:0.2〜2.0m2/g、およびc)平均細孔径:0.7〜2.0nmの全てを満たすことを特徴とするバリア性積層フィルム。
IPC (7件):
B32B 9/00 ,  B32B 27/00 ,  C08J 7/06 CFD ,  C23C 14/06 ,  C23C 14/10 ,  C23C 16/42 ,  C08L 67:00
FI (8件):
B32B 9/00 A ,  B32B 27/00 A ,  C08J 7/06 CFD Z ,  C23C 14/06 Q ,  C23C 14/06 B ,  C23C 14/10 ,  C23C 16/42 ,  C08L 67:00
Fターム (45件):
4F006AA12 ,  4F006AA35 ,  4F006AB74 ,  4F006BA05 ,  4F006CA07 ,  4F006DA01 ,  4F006EA02 ,  4F100AA16B ,  4F100AA17B ,  4F100AA17C ,  4F100AA20B ,  4F100AD08B ,  4F100AH06 ,  4F100AH08 ,  4F100AK01C ,  4F100AK42A ,  4F100AK52 ,  4F100AL06C ,  4F100AT00A ,  4F100BA03 ,  4F100BA07 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10C ,  4F100DE01B ,  4F100GB15 ,  4F100GB23 ,  4F100JA20 ,  4F100JD02 ,  4F100JN01 ,  4K029AA11 ,  4K029AA25 ,  4K029BA35 ,  4K029BA46 ,  4K029BA56 ,  4K029BB02 ,  4K029BC08 ,  4K029EA01 ,  4K030BA29 ,  4K030BA37 ,  4K030BA44 ,  4K030CA07 ,  4K030CA12 ,  4K030HA03 ,  4K030JA01 ,  4K030JA20
引用特許:
審査官引用 (9件)
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