特許
J-GLOBAL ID：200903039839849809
カーボンナノチューブの作製装置および作製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
磯野 道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-008259
公開番号（公開出願番号）：特開2006-111517
出願日： 2005年01月14日
公開日（公表日）： 2006年04月27日
要約：
【課題】 カーボンナノチューブ(CNT)を形成する基板としてガラス製の基板を用いることができ、煤などの不純物が混在せず、広い面積にわたって高い配向性を有するCNTを形成することができるCNTの作製装置および作製方法を提供する。【解決手段】 本発明では、CNTを反応チャンバー2内で基板S上に形成させるCNTの作製装置1において、前記基板Sを保持する保持手段53と、この保持手段53に保持された前記基板Sに対面して設けたフィルタ6と、このフィルタ6を介して前記基板Sに対向して設けた励起手段52と、この励起手段52により高周波電力を印加して励起させる炭化水素ガスCGを前記反応チャンバー2内に供給する炭化水素ガス供給手段51と、を備え、前記フィルタ6は、前記CNTの形成に適する励起された炭化水素ガスCGを透過させることが可能であるカーボンナノチューブの作製装置1とした。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
カーボンナノチューブを反応チャンバー内で基板上に形成させるカーボンナノチューブの作製装置において、
前記基板を保持する保持手段と、この保持手段に保持された前記基板に対面して設けたフィルタと、このフィルタを介して前記基板に対向して設けた励起手段と、この励起手段により高周波電力を印加して励起させる炭化水素ガスを前記反応チャンバー内に供給する炭化水素ガス供給手段と、を備え、
前記フィルタは、炭化水素ガスを透過させることを特徴とするカーボンナノチューブの作製装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (19件)：
4G146AA11
, 4G146AC03B
, 4G146BA12
, 4G146BB22
, 4G146BB23
, 4G146BC09
, 4G146BC23
, 4G146BC25
, 4G146BC26
, 4G146BC27
, 4G146BC33A
, 4G146BC33B
, 4G146BC37B
, 4G146BC38B
, 4G146BC42
, 4G146BC44
, 4G146DA03
, 4G146DA33
, 4G146DA47
