特許
J-GLOBAL ID：200903039886242840
2-Dアクチュエータ及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
磯野 道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-358849
公開番号（公開出願番号）：特開2004-139085
出願日： 2003年10月20日
公開日（公表日）： 2004年05月13日
要約：
【課題】 2次元駆動光スキャナ及びその製造方法を提供する。【解決手段】 第1方向の回転中心軸を中心に第1方向及び第2方向に垂直の第3方向にシーソー運動するステージと、前記各ステージのシーソー運動を支持する第1支持部と、前記ステージの下部でステージと所定間隔をおいて対面し、前記第1支持部により支持されるベースと、前記ステージの底面とこれに対面するベースの上面に各々対応して形成される多数の第1駆動櫛歯状電極及びこれに対応して形成される第1固定櫛歯状電極を具備するステージ駆動部と、前記第2方向の回転中心軸を中心に前記第1支持部がシーソー運動するように前記第1支持部を支持する第2支持部と、前記第1支持部のシーソー運動を発生させるように前記第1支持部に設けられる第2駆動櫛歯状電極及び第2駆動櫛歯状電極に対応するように位置固定された第2固定櫛歯状電極を具備する第1支持部駆動部と、を具備するアクチュエータ。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
第1方向とこれに直交する第2方向を有して前記第1方向の回転中心軸を中心に第1方向及び第2方向に垂直の第3方向にシーソー運動するステージと、
前記ステージのシーソー運動を支持する第1支持部と、
前記ステージの下部にステージと所定間隔をおいて対面し、前記第1支持部により支持されるベースと、
前記ステージの底面及びこれに対面するベースの上面に各々形成される第1駆動櫛歯状電極及びこれに対応する第1固定櫛歯状電極を具備するステージ駆動部と、
前記第2方向の回転中心軸を中心に前記第1支持部がシーソー運動するように前記第1支持部を支持する第2支持部と、
前記第1支持部のシーソー運動を発生させるように前記第1支持部に設けられる第2駆動櫛歯状電極及び第2駆動櫛歯状電極に対応するように位置固定された第2固定櫛歯状電極を具備する第1支持部駆動部と、を具備することを特徴とするアクチュエータ。
IPC (4件)：
G02B26/08
, B81B3/00
, B81C3/00
, G02B26/10
G02B26/08 E
, B81B3/00
, B81C3/00
, G02B26/10 C
2H041AA12
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H041AZ02
, 2H041AZ05
, 2H041AZ08
, 2H045AB16
, 2H045AB73
, 2H045BA13
出願人引用 (1件)
審査官引用 (5件)
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引用文献：
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