特許
J-GLOBAL ID：200903055872864789
光走査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
伊藤 洋二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-348234
公開番号（公開出願番号）：特開平10-253912
出願日： 1997年12月17日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：
【要約】【課題】 光走査装置を小型化し、その場合の動作特性のばらつきを少なくするとともにミラーの位置精度を高め、さらに振動部の振動動作を保証して、外的要因により動作特性が変わるのを防止する。【解決手段】 シリコン基板1に薄肉部を形成し、この肉薄部にミラー部12等の可動部12〜16を形成し、圧電体膜21〜24により可動部12〜16を駆動する。この駆動により、ミラー部12は異なる軸方向に捩じれ振動する。ミラー部12には金属薄膜が形成されており、その金属薄膜に光を入射することにより、2次元での光走査を行うことができる。
請求項（抜粋）：
薄肉部(2)が形成された半導体基板(1)と、前記薄肉部を振動させる加振手段(21〜24)とを備え、前記薄肉部には光を出射する光出射部(10)が設けられていることを特徴とする光走査装置。
IPC (2件)：
G02B 26/10 101
, G06K 7/10
G02B 26/10 101
, G06K 7/10 D
