透過形電子顕微鏡用薄片試料作製方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：平木祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-027094
公開番号（公開出願番号）：特開平11-223588
出願日： 1998年02月09日
公開日（公表日）： 1999年08月17日
要約：

【要約】【課題】結晶欠陥の少ないTEM用試料を作製する。【解決手段】イオンビームを使ってTEM用薄片試料を作製する方法において、薄片試料に仕上げる最終仕上げ工程では15keV以下のエネルギーを有する直径0.03μm以下のイオンビームを使用する。

請求項（抜粋）：

集束イオンビームを用いて透過形電子顕微鏡用の薄片試料を作製する方法において、薄片試料に仕上げる最後の工程が15keV以下のエネルギーのイオンビームで薄片化する工程であることを特徴とする透過形電子顕微鏡用薄片試料作製方法。

IPC (2件)：

G01N 1/28 , G01N 1/32

FI (3件)：

G01N 1/28 F , G01N 1/32 B , G01N 1/28 G

引用特許：

出願人引用 (3件)

審査官引用 (2件)

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