特許
J-GLOBAL ID：200903039996597864
クリーンルームの給排気システム
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-326003
公開番号（公開出願番号）：特開2000-146240
出願日： 1998年10月31日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：
【要約】【課題】 従来は、クリーンルーム101に接続された第1排気管109では吸引空気は減圧状態になり、真空ポンプ104に接続された第2排気管110では真空ポンプ104から押し出されたプロセス排気ガスは空気を随伴して加圧状態になるため、第2排気管110からのプロセス排気ガスは図4の矢印Aで示すように集合排気管111から第1排気管109へ廻り込み、減圧状態の第1排気管109からクリーンルーム101内へ拡散し、汚染する。【解決手段】 本発明のクリーンルームの給排気システムは、クリーンルーム10へ清浄空気を送る外調機80、クリーンルーム10内の清浄空気の一部を排気する第1排気管15、及び処理装置90のプロセス排気ガスを真空ポンプ91から押し出す第2排気管93を備え、第1排気管15と第2排気管93をそれぞれ独立させたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
複数の処理装置が設置されたクリーンルーム内へ給気路を介して清浄空気を供給する空気清浄装置と、上記クリーンルームを循環する清浄空気の一部を第1排気路を介して吸引、排気する排気装置と、上記処理装置のプロセス排気ガスを第2排気路を介して排気する排気ポンプと、第1、第2排気路が連結され且つ排気空気とプロセス排気ガスとを合流させて外部へ排気する集合排気路とを備えたクリーンルームの給排気システムにおいて、上記集合排気路を設けることなく、第1排気路と第2排気路をそれぞれ独立させたことを特徴とするクリーンルームの給排気システム。
Fターム (2件)：
引用特許：
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